次级泵需要主泵对其进行初始“充注”才能运行和/或支持其连续运行。对于主泵和次级泵的正确组合或“搭配”，需要考虑几个因素，以确保实现安全和优化的运行。
选择错误的后果可能很严重，包括扩散泵“失速”（和严重的油污染）、涡轮分子泵过热等等。
下面列举了几个常见的例子来说明这些要求。
主真空泵 (PP) 是一种可排气至大气压力的泵。其中包括油封旋片 (OSRV) 泵、膜片泵、涡旋泵、多级罗茨泵、活塞泵、螺杆泵和液环泵。
次级泵 (SP) 需要由主泵（有时是其他次级泵）进行初始排空以达到所需的压力后才能运行。其中包括油扩散泵 (ODP)、涡轮分子泵 (TMP)、蒸气增压泵 (VB)、机械增压泵 (MB)、离子增压泵 (IGP)、钛升华泵 (TSP)、非蒸发型吸气泵 (NEG)、低温泵、分子拖曳泵和再生泵。
在某些情况下，连续运行离不开前级泵的支持；ODP、TMP 和 VB 泵都是这种情况。
要搭配主泵和次级泵，需要考虑以下几点：
这将使主泵中的压力相应升高至 1.5 mbar 左右，如下所示：
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