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增加产量,提高安全性

支持您创新的全球经验

我们在半导体工厂积累了丰富的经验,可为您在采用硅晶片加工技术时提供支持,在这方面具有独特的优势。我们还可以帮助您:

  • 同时处理使用 MOCVD 工具探测到的氢气和氨气的高流速
  • 提高粉尘处理能力,并具有高耐腐蚀性气体的能力
  • 为您提供紧凑的一体化解决方案,功耗低,适合大体积、高流量的应用。

我们所有的减排系统均旨在减少运营对环境的影响并降低成本。

LED 制造

人们在推续地推动节能发展,而 LED 在节能方面发挥着重要作用。作为 LED 制造流程的参与者,我们深知客户在真空和环境方面面临的挑战。我们相信,凭借我们的全球经验,我们能够提供最具成本效益和最安全的环保技术解决方案,以支持客户提升生产效率。