Šoupátkové ventily pro vakuové systémy
Šoupátkové ventily VAT pro vysokou a celkovou těsnost
Proč zvolit šoupátkový ventil?
Šoupátkové ventily nabízejí jednoduchý, ale inovativní klínový těsnicí mechanismus bez maziva a robustně navrženou konstrukci z nerezové oceli.
Tyto ventily jsou zvláště vhodné pro aplikace s vysokými úrovněmi vedlejších produktů procesu v proudu plynu: jedná se o ventily s dlouhou životností a spolehlivostí v náročných prostředích.
Manuální šoupátkové ventily BGV
Ventily BGV jsou šoupátkové ventily z nerezové oceli s těsněním pomocí vlnovce pro použití v aplikacích vyžadujících vysokou těsnost a minimální obsah uhlovodíků ve vakuovém systému. Přestože jsou tyto ventily navrženy především pro odpojování vývěv v základní úrovni výroby polovodičů, jsou ideální i pro jiné aplikace, kde je žádoucí rozdíl 1 bar při otevření.
Jsou určeny k použití v rozsahu tlaku 1,2 bar absolutně až 1 x 10‐8 mbar (1,2 x 105 až 1 x 10‑6 Pa). Šoupátkové ventily BGV vydrží tlak 1,2 bar absolutně v obou směrech, což umožňuje zavzdušnění vakuového potrubí nad vývěvou se zavřeným ventilem. Manuální ventily BGV jsou vybaveny vizuální indikací polohy šoupátka na straně sestavy, aby bylo vidět, kdy je ventil otevřený.
- Vydrží tlak 1,2 bar absolutně v obou směrech. Brání problémům s opětovným spuštěním tím, že udržuje vývěvu v provozu během údržby.
- Robustně navržená konstrukce z nerezové oceli.
- Dlouhá životnost a spolehlivost v náročných prostředích
- Pneumatický elektromagnet a volitelné zapojení předem.
- Předem nakonfigurovaná jednoduchá instalace typu „plug and play“.
- Jednoduchý bezmazný těsnicí mechanismus. Minimalizuje poškození způsobené částicemi v prašných procesech.
Manuální šoupátkový ventil BGV
Pneumatický šoupátkový ventil BGV MK3
Pneumatický šoupátkový ventil BGV MK3
Pneumatický šoupátkový ventil BGV Mk3 funguje stejným způsobem jako manuální šoupátkový ventil, avšak pneumatický ventil má jazýčkové spínače, které může vaše řídicí zařízení použít k určení, zda je ventil otevřený nebo zavřený. Obsahují také diody LED, které poskytují vizuální indikaci polohy ventilu.
Každý pneumatický ventil BGV Mk3 je vybaven elektromagnetem 24 V DC a předem zapojenou zástrčkou pro přímé připojení k vývěvě Edwards nejnovější generace (iHH, iXL, iXM a GXS). Tato 15cestná zástrčka D-sub nabízí jediný bod připojení pro napájení elektromagnetu i pro aktivaci diod LED z indikátorů polohy v jazýčkovém spínači. 15cestný zásuvkový kabel „D“ a indikátory polohy jazýčkového spínače jsou s ventily BGV dodávány volitelně. Délka kabelu je však přibližně 50 cm a pro připojení k vývěvě nebo místní řídicí jednotce je nutný delší prodlužovací kabel.
Aby bylo možné připojit pneumatický ventil BGV Mk3 ke starším produktům společnosti Edwards, je třeba použít kabel rozhraní BGV Mk2 TIM. Funkce diod LED není k dispozici u starších produktů (iGX, GX nebo iQ a iH prostřednictvím modulu iTIM), protože vývěvy neposkytují napájení DC 24 V pro aktivaci diod LED. Základní funkce indikátoru polohy ventilu však funguje pro otevření a zavření, protože to nevyžaduje žádné napájení a spouští se magnetickým polem.
- Vydrží tlak 1,2 bar absolutně v obou směrech. Brání problémům s opětovným spuštěním tím, že udržuje vývěvu v provozu během údržby.
- Robustně navržená konstrukce z nerezové oceli. Dlouhá životnost a spolehlivost v náročných prostředích.
- Pneumatický elektromagnet a volitelné zapojení předem.
- Předem nakonfigurovaná jednoduchá instalace typu „plug and play“.
- Jednoduchý bezmazný těsnicí mechanismus. Minimalizuje poškození způsobené částicemi v prašných procesech.
- K dispozici jsou také verze Lock Out Tag Out (LOTO) – uzamčení a označení.
Jak fungují manuální a pneumatické šoupátkové ventily BGV?
Díky jednoduchému, ale inovativnímu klínovému těsnicímu mechanismu, který obsahuje kluzáky PEEK, je ventil vhodný zejména pro aplikace s vysokými úrovněmi vedlejších produktů procesu v proudu plynu:
- Ve ventilu není olej, mazivo ani složité pohyblivé části, což odstraňuje riziko poškození mechanismu v důsledku kontaminace procesními nečistotami
- Kluzáky PEEK nevytvářejí kontakt kov na kov a slouží k regulaci tlaku O-kroužku
- Když šoupátko uzavře, kartáče O-kroužku před utěsněním krátce přejedou přes těsnicí plochu a pomáhají tak odstranit nečistoty z těsnicí plochy, což zajišťuje lepší utěsnění
Ventil BGV z nerezové oceli s bezpečnostní funkcí LOTO
Pneumatické šoupátkové ventily BGV LOTO obsahují všechny výhody standardní řady BGV, navíc s bezpečnostní funkcí LOTO a nízkou spotřebou energie.
Ventily BGV LOTO jsou šoupátkové ventily z nerezové oceli s těsněním pomocí vlnovce pro použití v aplikacích vyžadujících vysokou těsnost a minimální obsah uhlovodíků ve vakuovém systému. Přestože jsou tyto ventily BGV navrženy především pro odpojování vývěv v základní úrovni výroby polovodičů, jsou ideální i pro jiné aplikace, kde je žádoucí rozdíl 1 bar při otevření.
Jedinečný bezpečnostní mechanismus uzamčení a označení (Lock‑Out‑Tag‑Out neboli LOTO) umožňuje pracovníkům bez omezení provádět práce na vakuovém systému bez obav z neúmyslného otevření ventilu. Ventil je fyzicky udržován v uzavřené poloze pomocí kolíku, který uzamkne ventil v uzavřené poloze a brání tak jeho otevření. Pokud je potřeba uzamknout ventil v uzavřené poloze, lze přes kolík LOTO vložit uzamykací petlici a zajistit ji visacím zámkem.
Jsou určeny k použití v rozsahu tlaku 1,2 bar absolutně až 1 x 10‑9 mbar (1,2 x 105 až 1x10‑7 Pa). Ventily BGV vydrží v obou směrech tlak 1,2 bar absolutně, což umožňuje zavzdušnění vakuového potrubí nad vývěvou se zavřeným ventilem.
Nízká spotřeba energie na ovládání s hodnotou pouhý 1 W umožňuje přímé připojení k řadě suchých vývěv Edwards nejnovější generace bez dalšího externího zdroje napájení a usnadňuje jednoduchou instalaci typu „plug and play“.
Vaše řídicí zařízení může využít jazýčkové spínače k určení, zda je ventil otevřený nebo zavřený. Spínače obsahují také diody LED, které poskytují vizuální indikaci polohy ventilu. Každý ventil je vybaven elektromagnetem 24 V DC a předem zapojenou zástrčkou pro přímé připojení k vývěvě Edwards nejnovější generace. Tato 15cestná zástrčka „D“ nabízí jediný bod připojení pro napájení elektromagnetu i pro aktivaci diod LED z indikátorů polohy v jazýčkovém spínači. 15cestný zásuvkový kabel „D“ a indikátory polohy jazýčkového spínače jsou s ventily BGV dodávány volitelně. Délka kabelu je však přibližně 50 cm a pro připojení k vývěvě nebo místní řídicí jednotce je nutný delší prodlužovací kabel.
Aby bylo možné připojit pneumatický ventil BGV LOTO ke starším produktům společnosti Edwards, je potřeba použít kabel rozhraní BGV TIM. Funkce diod LED není k dispozici u starších produktů, protože vývěvy neposkytují napájení DC 24 V pro aktivaci diod LED.
Ventily BGV z nerezové oceli s bezpečnostní funkcí LOTO
Jak fungují šoupátkové ventily BGV z nerezové oceli s bezpečnostní funkcí LOTO?
Díky jednoduchému, ale inovativnímu klínovému těsnicímu mechanismu, který obsahuje kluzáky PEEK, je ventil vhodný zejména pro aplikace s vysokými úrovněmi vedlejších produktů procesu v proudu plynu:
- Ve ventilu není olej, mazivo ani složité pohyblivé části, což odstraňuje riziko poškození mechanismu v důsledku kontaminace procesními nečistotami
- Kluzáky PEEK nevytvářejí kontakt kov na kov a slouží k regulaci tlaku O-kroužku
- Když šoupátko uzavře, kartáče O-kroužku před utěsněním krátce přejedou přes těsnicí plochu a pomáhají tak odstranit nečistoty z těsnicí plochy, což zajišťuje lepší utěsnění
- Ventily LOTO lze bezpečně uzamknout v zavřené poloze. Zajišťují tak bezpečné pracovní prostředí během údržby
- Nízká spotřeba energie ovládání – pouhý 1 W. Přímé připojení k suché vývěvě Edwards nejnovější generace
- Vydrží tlak 1,2 bar absolutně v obou směrech. Umožňuje, aby vývěva zůstala v provozu i během údržby
- Pneumatický elektromagnet a volitelné zapojení předem. Předem nakonfigurovaná jednoduchá instalace typu „plug and play
- Robustně navržená konstrukce z nerezové oceli. Dlouhá životnost a spolehlivost v náročných prostředích
- Jednoduchý bezmazný těsnicí mechanismus. Minimalizuje poškození způsobené částicemi v prašných procesech.
Při použití pneumatických ventilů BGV LOTO
Pneumatický ventil BGV LOTO lze zapojit přímo do našich suchých vývěv nejnovější generace a umožňuje plnou funkčnost. Mezi nejnovější generace produktů patří: vývěvy iXH, iXL, iXM a GXS.
Aby bylo možné připojit pneumatický ventil BGV LOTO k našim starším produktům, je třeba použít kabel rozhraní BGV Mk2 TIM. Mezi starší produkty patří: vývěvy iGX, GX (nebo iQ a iH prostřednictvím modulu iTIM).
Šoupátkové ventily HVA pro velmi vysoký podtlak a vysokou teplotu vypékání
GV1040M
Manuální a pneumatické šoupátkové ventily GV
Řada ventilů GV je vyrobena z nerezové oceli, s těsněním pomocí vlnovce a je navržena pro aplikace vyžadující celkovou těsnost a minimální obsah uhlovodíků ve zbytkové atmosféře.
Tyto ventily vynikající kvality nabízejí vysokou integritu vakua společně s maximální vodivostí. Ventily jsou k dispozici s možnostmi přírub ISO, CF (s kovovým těsněním) pro aplikace s mimořádně vysokým vakuem vyžadující zvýšenou teplotu vypékání.
Tělesa ventilů z nerezové oceli jsou vakuově pájená, což je speciální proces, který zahrnuje vypékání při teplotě 1100 °C. To odstraňuje jakoukoli možnost virtuálních úniků a zajišťuje produkt vyznačující se nízkým odplyňováním.
Laserem svařované vlnovce z nerezové oceli účinně utěsňují ovladač od ventilu. Tento koncept zajišťuje snadný servis a umožňuje demontáž mechanismu šoupátka a závěsného zařízení, zatímco ventil zůstává na místě.
- Demontáž šoupátka a mechanismu závěsného zařízení na místě pro snadný servis.
- Virtuální úniky eliminovány díky výrobě s vakuovým pájením.
- Elektricky leštěný povrch uvnitř i zvnějšku.
- Kompaktní provedení s vysokou vodivostí.
- Manuální nebo pneumatické verze.
- Indikátor polohy mikrospínače je standardní součástí pneumatické verze vhodné pro magnetická pole.
- Dlouhé období používání mezi údržbou.
- Nízké vibrace a nárazy.
- Volný výběr orientace.
- Široký rozsah vrtání od 40 mm / 1,56 palce až do vrtání 320 mm / 12,48 palce.
- Možnosti příruby – ISO, CF (s kovovým těsněním)
- Vakuově pájeno na 1100 °C pro eliminaci virtuálních úniků.
