ZVYŠTE PRODUKTIVITU A SOUČASNĚ SNIŽTE NÁKLADY A DOPAD NA ŽIVOTNÍ PROSTŘEDÍ
V rámci našeho procesu neustálého zlepšování navrhujeme modernizace, které našim zákazníkům pomohou zlepšit výkon jejich strojů, snížit náklady na vlastnictví a dosáhnout jejich cílů v oblasti udržitelnosti.
- Ochrana výkonu zařízení
- Minimalizace celkových nákladů na vlastnictví
- Modernizace pro zlepšení životního prostředí
OCHRANA VÝKONU ZAŘÍZENÍ
Modernizace navržené pro zlepšení výkonu stroje a zvýšení produktivity provozu
Vylepšení redukce částic přímo na nástroji u turbomolekulárních vývěv Maglev
V rámci našeho pokračujícího úsilí našich zákazníků o zvýšení produktivity a výtěžnosti jsme navrhli řadu řešení, která našim zákazníkům umožňují snížit kontaminaci částicemi na waferu v aplikacích výroby polovodičů pomocí tří technologií přímo na nástroji: naše technologie Anti-Recoil, kryt misky rotoru a použití vysokoteplotních vývěv.
Technologie Anti-Recoil
Během výroby se částice mohou z turbomolekulární vývěvy dostat do komory, potenciálně kontaminovat wafery a snížit produktivitu. Naše technologie Anti-Recoil výrazně snižuje znečištění částicemi tím, že jim umožňuje snadno procházet turbomolekulární vývěvou do výfuku.
Kryt misky rotoru
Abychom zabránili korozi a hromadění částic na misce rotoru (na vstupu turbomolekulární vývěvy), vyvinuli jsme kryt misky rotoru odolný proti korozi, který zabraňuje jak tvorbě depozice, tak korozi součástí z nerezové oceli.
Vysokoteplotní vývěvy
Další zdroj kontaminace částicemi pochází z depozice uvnitř turbomolekulární vývěvy, která může také umožnit přenos částic zpět přes turbomolekulární vývěvu a do komory. Pomocí vysokoteplotních vývěv se vedení plynu zahřívá na extrémně vysoké teploty, což snižuje tvorbu depozice. Tyto vývěvy mají speciální povrchovou úpravu s vysokou tepelnou emisivitou na klíčových součástech vakuového systému, jako jsou rotor a stator, a jejich teplotní profil je průběžně optimalizován pro dosažení nejlepších výsledků.
Všechny tři technologie redukce částic lze instalovat během pravidelného servisu vývěv v našem servisním technologickém centru, aby bylo zajištěno, že zákazníci budou moci optimalizovat produktivitu pro nové vybavení a stávající instalovanou základnu.
Ochrana suchoběžných vývěv XCEDE pro náročné výrobní procesy
Technologie ochrany suchoběžných vývěv XCEDE zabraňuje korozi kritických součástí vývěvy a prodlužuje servisní intervaly, čímž maximalizuje provozuschopnost výroby našich zákazníků. Tato technologie překonává všechny konkurenční metody pomocí komplexní kombinace povrchové úpravy a přesného konstrukčního provedení pro snížení chemického a mechanického opotřebení v rámci mechanizmu vývěv řady Edwards iH, iXH a IXM.
MINIMALIZACE CELKOVÝCH NÁKLADŮ NA VLASTNICTVÍ
Modernizace určené k prodloužení doby mezi servisy a zvýšení efektivity strojového parku pro snížení celkových nákladů na vlastnictví.
Porézní hlava v systému snížení emisí
Společnost Edwards vyvinula porézní hlavu – servisní modernizace přímo u zákazníka – která využívá slinutý, porézní kovový blok, který rovnoměrně šíří vzduchové profukování po celém povrchu, aby se snížilo riziko hromadění prášku. Nahrazuje tradiční hlavu s keramickým izolátorem.
Během procesu snižování emisí se pevné látky, typicky prášky, mohou hromadit v oblastech systému, kde je to nežádoucí, jako je spodní strana vstupní hlavy. Tato akumulace prášku vede k zablokování, které brání toku procesních plynů a způsobuje časté plánované servisní zásahy. Během jednoho roku v náročných procesech si může toto hromadění prášku vynutit více než devět servisních zásahů a zvýšit náklady na vlastnictví v důsledku práce a použití náhradních dílů.
Zákazníkům, kteří využívají modernizované řešení s porézní hlavou, se podařilo každý rok snížit počet servisních zásahů z deseti na pouhé dva v průměru. To u zákazníků bez záložního systému snižování emisí ročně představovalo odstranění průměrně 64 hodin prostojů nástrojů, což mělo za následek navýšení provozního výkonu ve výši 1,5 milionu USD.
Zákazníci se záložním systémem snižování emisí dosahují značných úspor v rámci náhradních dílů, údržbářských prací a vyšší energetické účinnosti snížením své závislosti na záložním systému.
Služby Life Service
Strojové parky se stroji používanými více než pět let riskují neočekávané poruchy v jejich kritické elektronice bez ohledu na jejich mechanický výkon, který je především zachován účinnými režimy údržby.
Řešení Edwards Life Service je skvělou volbou pro obnovu strojů a prodloužení životnosti vašeho strojového parku. Služby Life Service pokrývají všechny hlavní elektronické součásti systému s prodlouženou zárukou. Díky tomu budete moci vaše zařízení udržet v provozu po mnoho let.
Služby Life Service jsou k dispozici prostřednictvím naší globální sítě servisních technologických center.
MODERNIZACE PRO ZLEPŠENÍ ŽIVOTNÍHO PROSTŘEDÍ
Modernizace navržené tak, aby prodlužovaly životnost vašeho strojového parku, zlepšovaly jeho dopad na životní prostředí a pomohly vám dosáhnout vašich cílů v oblasti udržitelnosti.
Snížení nákladů na energii ve výrobě díky našim modernizacím pro úsporu energie
Tato modernizace suchoběžné vývěvy Edwards iXH1210 představuje snadnou výměnu, bez dodatečných prací pro týmy na pracovišti a bez ztráty způsobené prostoji během procesu modernizace.
Postará se téměř o třetinu vašich nákladů na energii a pomůže zmírnit dopad na životní prostředí tím, že více snižuje emise uhlíku, což přispívá k vašim environmentálním cílům. Není divu, že tomu říkáme „modernizace pro úsporu energie“.
Nyní si představte, že vynásobíte tato čísla počtem vývěv, které lze modernizovat ve vaší továrně?
A je zde další výhoda, že naši zákazníci nemusí plánovat kapitál pro nové vývěvy, protože modernizace lze dosáhnout prostřednictvím procesu modernizace inteligentními služebami Edwards.
Výměníky tepla
Kontaminace chladicí vody v továrně představuje riziko, kterému jsou vystaveny systémy snižování emisí bez přísných plánů údržby. V mnoha systémech jsou výměníky tepla náchylné ke korozi způsobené kyselým chemickým procesem, který může způsobit únik do procesní chladicí vody továrny. Tato kontaminace může poškodit jiné procesní nástroje, které používají stejný okruh chladicí vody. To představuje také riziko pro životní prostředí, protože je nebezpečné s takovouto kapalinou nakládat.
Servisní sada výměníku tepla je efektivním řešením, které převádí stávající pájený výměník tepla na nové provedení s deskou a těsněním bez výrazných úprav systému. Ve srovnání s originálními výměníky tepla poskytuje zvýšenou odolnost proti poškození kyselinou, nabízí přibližně pětkrát až desetkrát delší životnost a snižuje riziko kontaminace chladicí vody továrny.
