Speedivalve - Datasheet
真空システム用インラインバルブ
直線上に並んだインレットとアウトレット
インラインバルブを選ぶ理由
インラインバルブのインレットとアウトレットは1つの軸に沿って並んでいるため、バルブを開いても、フローパスはまっすぐに保たれます
インラインバルブには、手動、電磁、空圧など、さまざまなサイズと設計があり、お客様のシステム設計と機械で利用可能な設備によって決定されます。
アングルタイプとインラインタイプのバルブの選択は、真空システムの特定の要件と設置可能なスペースによって異なります。
IBV ISO-KFボールバルブ
ボールバルブは、素早い動作とフルボアポンプが必要な用途でよく使用されています。当社のIBVシリーズバルブは、これらの実用的な日常機能に加え、使いやすさと経済性を兼ね備えたハイスペック仕様です。316Lステンレス鋼製でPTFEシートを採用しており、さまざまな真空用途で堅牢な性能を発揮します。
- 低コスト
- 便利なNW16、NW25、NW40、NW50サイズ
- オプションのBSPネジバージョン
- 使いやすい手動操作
- 高伝導フルボアポンプ
Speedivalve
SP Speedivalveは、ダイヤフラムシール型インライン隔離弁です。この構造は、基本的に、柔軟なエラストマーダイヤフラムで構成されており、ねじ山メカニズムで軽く研磨された弁座にシールされます。このメカニズムは、ダイヤフラムによってシステムから分離されており、非常に頑丈で、「汚れやすい」システムにも耐久性のあるバルブになっています。
バルブは、NWフランジで終端し、パイプラインサポートまたはパネルマウントが可能です。
（SP40Kはパイプラインでのみサポートされます）
- バルブが開いていることを視覚的に確認でき操作が簡単（SP10K～SP25K）
- 漏れ防止は、10‑6 mbar ls‑1 / 8 x 10‑7 Torr ls‑1以上
- ダイヤフラムは、メカニズムを真空システムから完全に分離します
- 非常に頑丈で、「汚れやすい」システムに耐久性があります
- 9 barの圧力超過に耐えます（SP10K～SP40K、Co-Seal付き）
IPVMK手動操作インライン隔離弁
IPVMKは、ベローシール式の直角レバー式クイックアクションバルブであり、アルミニウムまたはステンレス鋼製の本体をご用意しています。自己潤滑プラスチック製カムピストンに接続されたレバーは、PTFE弁軸を介してと弁体を作動させます。弁体のOリング溝は、ガスのバーストを防止するために通気されます。このバルブは、10‑ 9 mbar/ 8 x 10‑10 Torrまで、2100 mbar/1575 Torr（30 psi）までの圧力で動作するように設計されています。
- 取り扱いが簡単
- ベローシール式メカニズム
- 高伝導
IPVPL空圧操作インライン隔離弁
インライン単動シリンダ、スプリングリターンパイプラインバルブのIPVPKシリーズは、標準的な空圧ラインから高速動作を行うように設計されており、サイズNW16、25、40、50をご用意しています。Oリング（シャフトシール、アルミニウムのみ）またはベローシール式のアルミニウムまたはステンレス鋼製本体をご用意しています。
バルブは長寿命設計されており、サービス間の間隔を長くするために、ベローとOリングの両方のシール式バージョンで、5,000,000サイクルのMTTFを提供します。
- バルブステータスの電気的表示および視覚的表示
- 高速作動 – 20ミリ秒で閉じます（PV16）
- アルミニウムまたはステンレス鋼をご用意
- アルミニウム本体でベローまたはOリングシャフトシーリングを選択可能
IPVEK電磁操作インライン隔離弁
IPVEKシリーズバルブは、1 x 10‑9 mbarまでの真空パイプラインシステムでの使用に適した、コンパクトで軽量の電磁真空バルブです。ダブル巻線コイルと電子スイッチング回路を組み合わせることで、エネルギー消費の低減、動作温度の低下、耐用年数の延長を実現しています。
ベローシール式IPVEK電磁は、アルミニウム（A）またはステンレス鋼（S）本体のいずれかで動作し、全体的なMTTFは最大500,000サイクルです。
- 開口部の過渡的高出力 – 電子的に切り替え
- 「開いたまま」の位置での低エネルギー消費
- エンクロージャ定格IP55
- グリースフリー真空
- MTTF最大500000サイクル
SIPVPソフトスタート隔離弁
フローの乱流が粒子汚染の問題を引き起こす可能性があるプロセスの制御されたポンプダウン用の交換可能なオリフィスを備えた、ソフトスタート、空圧操作、インラインバルブです。スレーブバルブとマスタバルブの組み合わせにより、初期ポンプが遅くなり、障害を最小限に抑えることができます。スレーブバルブとマスタバルブの両方に個別の空圧接続が必要です。
- 5,000,000サイクルのMTTF
- プロセスに合わせてポンプダウンを制御
- アルミニウム本体
- 電源異常時の高速作動バルブ
- 5 mm、6 mm、7 mmの交換可能なオリフィスが付属
SIPVPソフトスタート隔離弁はどのように機能しますか?
スレーブバルブが開くと、バルブの両側の間のガスは低速で、交換可能なオリフィスを通って流れ、ゆっくりと排気されます。ユーザーが指定した所定圧力レベルに達すると、ユーザーが供給した信号によってマスタバルブが開き、フルボアポンプが可能になります。
ベローシール式バルブは、空圧オープニングおよびスプリングクロージャーで単一動作します。これらには3つの交換可能なオリフィスが付属しており、お客様のプロセスに合わせてポンプ特性を調整できます。マイクロスイッチは、バルブの状態を示すために標準で供給されます。
バルブとマイクロスイッチの両方を100˚Cまで乾燥させ、ガス抜きを高速化し、バルブ内でプロセスガスが結露するのを防止します。
SIVPバルブに適した用途
主に半導体業界向けに設計されていますが、排気制御を必要とする他の用途でも使用できます。
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