대량 생산에서 EUV가 직면한 과제는 무엇인가요?

혁신의 기술은 팹 직원, 주변 지역 사회 및 환경의 안전을 보장하는 방법을 찾는 동시에 효율성을 향상시키고 운영 비용을 절감하는 방법을 찾는 데 있습니다.

EUV는 공기 중의 인화성 특성으로 인해 안전과 환경에 중점을 두는 상당한 양의 수소를 사용합니다. Edwards EUV 시스템은 EUV 공정을 위해 특별히 설계된 진공 펌프를 사용하고 반응 화합물을 포집하기 위해 트랩을 통합합니다. 시스템 전체에 인화성 혼합물이 존재하지 않도록 하기 위한 안전 센서가 전체 시스템에 포함되어 있습니다. 전통적으로 연료 연소식 저감 시스템을 사용하여 진공 펌프의 다운스트림에서 수소를 연소시켰지만, 이 방법은 상당한 에너지와 자원이 필요하며 지속적인 유지보수가 필요합니다.

Edwards의 새로운 무연료 접근 방식은 연료 연소식 저감 방식에서 벗어나 수소를 인화성 범위보다 훨씬 낮은 수준으로 안전하게 희석합니다. 이를 통해 항상 안전을 보장하고 에너지 요구 사항을 크게 줄일 수 있습니다.

다행히도 수소 자체는 환경에 부정적인 영향을 미치지 않습니다. 일단 농도가 최소 인화성 수준 이하로 떨어지면 매우 안전합니다. 연료가 필요 없는 수소 관리는 인화성 수준, 희석 기술 및 산업 안전 표준에 대한 철저한 이해를 바탕으로 합니다. 중요한 작업은 수소를 공기로 희석하는 것으로, 직관적이지 않은 접근 방식입니다. 그러나 혼합물이 인화성이 있는 임계 경로를 유지하여 매우 짧고 주의 깊게 모니터링함으로써 가스는 팹을 통해 안전하게 전달되어 대기로 직접 방출될 수 있는 비인화성 농도로 빠르게 희석됩니다.

연료가 필요 없는 수소 관리는 연소 제어로 인한 연료 비용 및 탄소 배출량, 희석에 필요한 질소 비용이 높지 않습니다. 최첨단 제조 역량의 글로벌 서비스 인프라를 통해 지원되는 Edwards는 종합적인 EUV 솔루션을 제공하는 동시에 고객뿐 아니라 관련된 모든 이해관계자를 위해 환경 및 사회적 가치를 창출할 수 있도록 보장합니다.

최첨단 제조 역량과 글로벌 서비스 인프라의 지원을 받는 Edwards는 종합적인 EUV 솔루션을 제공하는 동시에 고객뿐 아니라 모든 이해관계자를 위한 환경 및 사회적 가치를 창출합니다.