진공 시스템용 게이트 밸브

BGV LOTO 공압 게이트 밸브에는 표준 BGV 제품군의 모든 이점이 포함되어 있으며, LOTO 안전 기능과 저전력 기능이 있습니다.  

BGV 게이트 밸브는 벨로우즈 밀폐형 스테인리스 강 게이트 밸브로, 높은 누출 밀폐력과 진공 시스템 내 최소 탄화수소를 필요로 하는 작업에 사용됩니다. 기본적으로 반도체 팹 지하에 펌프를 격리하도록 설계되었지만, BGV 밸브는 개방시 1bar 차동장치가 필요한 다른 응용 분야에도 이상적입니다. 

고유 LOTO(Lock-out-Tag-out) 안전 메커니즘을 통해 작업자는 밸브를 실수로 열지 않고도 진공 시스템에서 자유롭게 작업할 수 있습니다. 밸브는 밸브를 잠그는 핀을 사용하여 물리적으로 닫힌 상태로 유지되어 밸브가 열리지 않게 합니다. 밸브를 잠가야 할 필요가 있을 경우 LOTO 핀과 자물쇠를 통해 잠금 걸쇠를 삽입할 수 있습니다.      

절대 압력 1.2bar에서 1 x 10^‑9mbar(1.2 x 105 ~ 1x10‑⁷ Pa)의 압력 범위에 사용하도록 설계되었습니다. BGV 밸브는 양쪽 방향 중 어느 방향으로든 절대 1.2bar를 견디므로 펌프 위의 진공 라인이 밸브를 닫은 상태에서 환기됩니다.

단 1W의 낮은 출력 작동 요구 사항으로 추가 외부 전원 공급 장치 없이 Edwards의 최신 건식 펌프 제품군에 직접 연결할 수 있으며 '플러그 앤 플레이'로 간편하게 설치할 수 있습니다. 

리드 스위치는 제어 장비에서 밸브가 열려 있는지 또는 닫혀 있는지 확인하는 데 사용할 수 있으며, 여기에는 밸브 위치를 시각적으로 표시하기 위한 LED도 포함되어 있습니다. 각 밸브에는 24V D.C. 솔레노이드와 미리 배선된 플러그가 장착되어 있어 Edwards의 최신 진공 펌프에 직접 연결할 수 있습니다. 이 15방향 “D” 소켓 플러그는 솔레노이드 전원 및 리드 스위치 위치 표시등의 신호에 대한 단일 연결 지점을 제공합니다. 15방향 “D” 소켓 케이블 및 리드 스위치 위치 표시기는 옵션으로 BGV 밸브와 함께 제공됩니다. 하지만 케이블 길이는 약 50cm이며, 펌프 또는 로컬 컨트롤러에 연결하는 데 더 긴 연장 케이블이 필요합니다.   

BGV LOTO 공압 밸브를 Edwards 레거시 제품에 연결하려면 BGV TIM 인터페이스 케이블을 사용해야 합니다. 펌프가 LED를 활성화하는 DC 24V 전원을 제공하지 않기 때문에 레거시 제품에서는 LED 기능을 사용할 수 없습니다.