Your browser is not supported

더 이상 지원하지 않는 브라우저를 사용하고 있습니다. 저희 웹 사이트를 계속 방문하려면 다음 지원되는 브라우저 중 하나를 선택하십시오.

진공 시스템용 인라인 밸브

입구와 출구가 정렬됨

SP10K

인라인 밸브를 선택해야 하는 이유는?

인라인 밸브에는 입구 및 출구가 같은 축을 따라 정렬되어 있습니다. 즉, 밸브가 열린 위치에 있을 때 유동 경로가 직선으로 유지됩니다. 

인라인 밸브는 시스템 설계와 장비에 사용할 수 있는 시설에 따라 결정되는 수동, 솔레노이드 또는 공압 밸브 등 다양한 크기와 설계를 제공합니다.  

밸브의 각도와 인라인 유형 선택은 진공 시스템의 특정 요구 사항과 설치 가능한 공간에 따라 달라집니다. 

IBV ISO-KF 볼 밸브

볼 밸브는 빠른 작동과 풀 보어 펌핑이 필요한 분야에서 널리 사용되고 있습니다. IBV 시리즈 밸브는 이러한 실용적인 일상 기능과 함께 사용 편의성과 경제성이 높은 사양 설계를 제공합니다. PTFE 시트로 316L 스테인리스 강으로 제조되어 다양한 진공 분야에서 견고한 성능을 제공합니다.

  • 낮은 자본 비용
  • 편리한 NW16, NW25, NW40, NW50 크기
  • BSP 스레드 버전(옵션)
  • 간편한 수동 작동
  • 높은 전도도의 풀 보어 펌핑
IBV
SP10K

Speedivalves

SP Speedivalves는 격막이 인라인 차단 밸브로 밀폐되어 있습니다. 이 구조는 기본적으로 나사 실 메커니즘으로 가볍게 연마된 시트에 씰링되는 유연한 탄성 다이어프램으로 구성됩니다. 이 메커니즘은 다이어프램에 의해 시스템에서 분리되므로 매우 견고하고 '오염된' 시스템에 내성이 있는 밸브가 가능합니다.

이 밸브는 NW 플랜지에서 종료되며 파이프라인 지원 또는 패널 장착이 가능합니다.

(SP40K는 파이프라인만 지원됨)

  • 밸브 개방 상태를 시각적으로 표시함으로써 작동 용이(SP10K ~ SP25K)
  • 10‑6mbar ls‑1 / 8 x 10‑7 Torr ls‑1보다 더 나은 누출 방지
  • 다이어프램이 진공 시스템에서 메커니즘을 완전히 분리
  • 매우 견고하고 '오염된' 시스템에 내성이 있음
  • 9bar 초과 압력을 견딜 수 있음(SP10K~SP40K, Co-Seal 포함)

IPVMK 수동 작동 인라인 차단 밸브

IPVMK는 빠르게 작동하는 벨로우즈 밀폐형 우측 앵글 레버 작동식 밸브로서 알루미늄 또는 스테인리스 강 본체와 함께 사용할 수 있습니다. 자가 윤활 플라스틱 캠 피스톤에 연결된 레버는 밸브 스템과 밸브 플레이트를 PTFE 베어링을 통해 작동시킵니다. 밸브 플레이트 O-링 홈은 가스 분사를 방지하기 위해 환기됩니다. 밸브는 10‑ 9mbar/ 8 x 10‑10 Torr부터, 최대 2100mbar/1575 Torr(30psi)의 압력에서 작동하도록 설계되었습니다. 

  • 간편한 사용
  • 벨로우즈 밀폐형 메커니즘
  • 높은 전도도
IPV16MKA
IPV16PKA

IPVPL 공압식 작동 인라인 차단 밸브

IPVPK 제품군은 인라인 단일 작동 실린더, 스프링 회송 파이프라인 밸브의 표준 공압 라인에서 고속 작동을 위해 설계되었으며, NW16, 25, 40 및 50의 크기로 제공됩니다. 이 제품은 O-링(샤프트 씰, 알루미늄만 해당) 또는 벨로즈우가 밀폐형 알루미늄 또는 스테인리스 강 본체로 제공됩니다.

벨로우즈와 O-링 밀폐 버전 모두 5,000,000 사이클의 MTTF로 긴 수명의 작업에 적합하도록 설계되었습니다.

  • 밸브 상태의 전기적 및 시각적 표시
  • 빠른 동작 – 20 ms에서 닫힘(PV16)
  • 알루미늄 또는 스테인리스 강으로 제공
  • 벨로우즈 또는 O-링 샤프트 밀폐(알루미늄 본체 포함) 중에서 선택

IPVEK 솔레노이드 작동 인라인 차단 밸브

IPVEK 시리즈 밸브는 1 x 10‑9mbar의 진공 파이프라인 시스템에서 사용하기에 적합한 소형 경량 전자기 진공 밸브입니다. 전자 스위칭 회로와 결합된 이중 권선 코일은 낮은 에너지 소비, 낮은 작동 온도 및 연장된 작동 수명을 보장합니다.

벨로우즈 밀폐형 IPVEK 솔레노이드 인라인 밸브는 알루미늄(A) 또는 스테인리스 강(S) 본체로 제공되며, 전체 MTTF는 최대 500,000 사이클입니다.

  • 열기에 적합한 일시적인 고출력 – 전자식 전환
  • '열림 상태 유지' 위치에서 낮은 에너지 소비
  • IP55에 대한 엔클로저 등급
  • 무그리스 진공
  • MTTF 최대 500,000 사이클
IPV16EKA
SIPVP

SIPVP 소프트 스타트 차단 밸브

난류로 인해 미립자 오염 문제가 발생할 수 있는 공정의 제어식 펌프 다운을 위한 교체 가능한 오리피스가 있는 소프트 스타트, 공압 작동식 인라인 밸브입니다. 슬레이브와 마스터 밸브 조합을 통해 초기 펌핑 속도가 느리게 하여 방해를 최소화할 수 있습니다. 슬레이브 및 마스터 밸브 모두 별도의 공압 연결이 필요합니다.

  • 5,000,000 사이클의 MTTF
  • 공정에 맞게 제어된 펌프 다운
  • 알루미늄 본체
  • 정전 시 빠르게 작동하는 밸브
  • 5mm, 6mm 및 7mm 교체 가능한 오리피스와 함께 제공

SIPVP 소프트 스타트 차단 밸브는 어떻게 작동합니까?

슬레이브 밸브가 열리면 가스가 밸브의 두 측면 사이에서 저속으로 흘러나와 상호 교환 가능한 오리피스를 통해 펌핑 속도가 느려집니다. 사용자가 지정한 미리 지정된 압력 수준에 도달하면 사용자가 제공하는 신호를 통해 마스터 밸브가 열려 보어가 완전히 펌핑됩니다.

벨로우즈 밀폐형 밸브는 공압 개폐 및 스프링 폐쇄와 함께 작동하는 단일 밸브입니다. 여기에는 세 개의 교체 가능한 오리피스가 제공되므로 펌핑 특성이 공정에 맞게 매칭될 수 있습니다. 마이크로스위치는 밸브 상태를 나타내는 표준으로 제공됩니다.

밸브와 마이크로스위치 모두 가스 제거 속도를 높이고 밸브 내부에서 공정 가스가 응축되지 않도록 100°C로 구워낼 수 있습니다.

SIVP 밸브에 적합

이 밸브는 주로 반도체 산업을 위해 설계되었지만 제어된 펌프 다운이 필요한 다른 응용 분야에서도 사용할 수 있습니다.

복도에서 웃으며 서 있는 Edwards 직원들
SERVICE SOLUTIONS

Read more on our offerings in Service Solutions