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진공 시스템용 특수 밸브

특수 응용 분야용 설계

진공 시스템용 특수 밸브

특수 밸브를 선택해야 하는 이유

특수 밸브는 밸브 유형이 아니라 진공 시스템 내의 특정한 특수 용도를 위해 설계된 밸브 범주를 지칭하는 광범위한 용어입니다. 

이러한 밸브는 수동 및 공압 밸브를 포함하여 다양한 크기와 설계로 제공되며, 종종 고급 기능을 통합하여 의도된 작업의 특정 과제를 해결합니다. 

커플링이 있는 AV5A 공기 공급 밸브

AV5A는 알루미늄 합금으로 제조됩니다. 이 밸브에는 나사로 작동되는 플런저에 컨트롤 노브가 부착되어 있습니다. 컨트롤 손잡이를 시계 방향으로 돌려 밸브를 닫습니다. 니트릴 O-링은 플런저를 밸브 본체에 밀봉합니다. 

이 밸브는 직접 연결, 파이프라인 지원 또는 패널에 장착 가능하며 Edwards SC5 커플링(제공됨)을 통해 진공 시스템에 연결됩니다.

 
  • 간단한 수동 공기 수용 밸브
  • 직접 연결, 파이프라인 지원 또는 패널 장착
  • SC5 커플링을 통해 연결(제공됨)
커플링이 있는 AV5A 공기 공급 밸브
AV10K

AV10K 공기 공급 밸브

AV10K는 AV5A와 동일한 방식으로 제조되고 작동하지만 서로 다른 방식으로 연결됩니다.

이 밸브는 파이프라인만 지원할 수 있으며 NW10 피팅을 통해 진공 시스템에 연결됩니다.

  • 간단한 수동 공기 수용 밸브
  • 파이프라인만 지원
  • NW10 피팅을 통해 연결

BRV 백킹/황삭 밸브

ISO NW 황삭 및 포어 펌프 종단이 있는 BRV 배압/황삭 밸브는 수동 또는 공압식 작동이 특징입니다. 이 두 포트는 하나의 일체형 3포트 유닛에서 개별 배압/황삭 밸브의 기능을 결합합니다.

유연한 네오프렌 커넥터가 뒷면 연결을 위해 제공됩니다. 황삭 및 포어 펌프 포트는 적절한 NW 종단에서 종료됩니다.

  • 작동이 용이함 - 두 포트 모두 닫힌 위치 
  • 긴 수명 - 100,000회 이상의 작동 
  • 공압 밸브의 위치 표시기 
  • 10‑9mbar ls‑1 / 8 x 10‑10 Torr ls‑1보다 더 나은 누출 방지
BRV10K
IPV10EK

IPV10EK 공기 수용 밸브 NW10

IPVA10EK는 진공 시스템으로 공기 또는 환기 가스의 자동 분출을 위해 설계된 솔레노이드 작동식 밸브입니다.

밸브에는 NW 플랜지가 있는 두 개의 포트가 있습니다. 밸브 포트 중 하나는 진공 시스템에 연결되어 있고 다른 포트는 대기 중에 열린 상태로 두거나 통기 가스 공급장치에 연결할 수 있습니다.

진공 시스템은 밸브 플런저 바닥에 있는 불화탄성체 패드를 통해 공기(또는 환기 가스 공급)로부터 격리되며, 이 패드는 밸브 본체에 밀봉됩니다.

  • 상시 개방 또는 상시 폐쇄 옵션 
  • 작은 엔벨로프
  • IP65 보호
  • MTTF 500,000 사이클

QSB 쿼터 스윙 버터플라이 밸브

QSB 쿼터 스윙 밸브는 컴팩트하고 빠른 동작, 높은 전도도 차단 밸브입니다. QSB 밸브에는 광택 스테인리스 강, ISO 플랜지 본체가 있으며 O-링 밀폐형 불화탄성체 밸브 플레이트와 샤프트가 있습니다. 밸브 플레이트 O-링 홈은 안정적인 높은 진공을 유지하도록 환기됩니다. 밸브 샤프트 O-링 및 베어링은 샤프트 씰 뒤에서 가스 분출이 발생하지 않도록 Fomblin® 그리스로 윤활됩니다. 

이 밸브에는 공동 씰이 제공됩니다. 

  • 수동 작동 
  • 높은 전도도
  • 어느 방향으로도 대기 저항력이 있음 
  • 컴팩트하고 신속한 작동 
  • 내부식성 구조 
QSB63
VIV 진공 차단 밸브 - 우측 모습

VIV 진공 차단 밸브

VIV 진공 차단 밸브는 배압 펌프에서 공정 챔버로 증기 또는 미립자가 이동하는 것을 방지하기 위해 설계된 높은 전도도의 고속 작동 고진공 차단 밸브입니다.

VIV가 닫히면 배압 펌프가 안전하게 환기됩니다. VIV는 펌프가 멈추거나 정지할 때 공정 챔버가 환기되지 않도록 보호합니다. 배압 펌프가 재시작되면 VIV 내부의 압력이 떨어졌을 때 밸브가 천천히 열리고, 이에 따라 압력 파열 영향이 최소화됩니다.

VIV 진공 차단 밸브는 Edwards 소형 건식 1차 펌프 제품군 nXDS, XDS, nXLI 및 nXRi와 함께 사용하도록 고안되었습니다. 

  • 높은 전도도 
  • 빠른 닫기 작업 
  • 전원 장애 보호 
  • 유연한 설치 옵션 
  • 1차 펌프 성능을 제한하지 않음 
  • 배압 펌프에서 공정 챔버로 증기 또는 입자가 이동하는 것을 방지 
  • 전원 공급 장치 고장 시 공정 챔버 환기 방지 

M8 밸브 커넥터 또는 15 방향 D형 로직 인터페이스 커넥터가 장착된 Edwards 배압 펌프의 경우에는 보호 수준이 증가하므로 24V DC 밸브 및 옵션 액세서리 케이블 또는 VIV Link를 사용하는 것이 좋습니다.

복도에서 웃으며 서 있는 Edwards 직원들
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