비용 및 환경에 미치는 영향은 줄이고 생산성은 높이기
Edwards는 고객의 제품 성능을 개선하고 소유 비용을 절감하여 지속 가능성 목표를 달성할 수 있도록 업그레이드를 설계했습니다.
- 장비 성능 보호
- 총 소유 비용 최소화
- 친환경 업그레이드
장비 성능 보호
장비 성능을 개선하고 작업 생산성을 향상시키도록 설계된 업그레이드
자기부상 터보 펌프에 대한 온툴 입자 감소 업그레이드
고객의 생산성과 수율을 개선하기 위한 지속적인 노력의 일환으로, Edwards는 고객이 반도체 응용 분야에서 반동 방지 기술, 로터 컵 커버, 고온 펌프 사용이라는 세 가지 온툴 기술을 사용하여 웨이퍼 오염을 줄일 수 있도록 하는 일련의 솔루션을 고안했습니다.
Anti-Recoil(반동 방지) 기술
제품 가동 중, 부산물이 터보 펌프에서 챔버로 반동하여 웨이퍼를 오염시키고 생산성을 떨어뜨릴 수 있습니다. Edwards의 Anti-Recoil 기술은 부산물들이 터보 펌프를 통해 배기 시스템으로 쉽게 통과할 수 있도록 하여 오염을 크게 줄여줍니다.
로터 컵 커버
로터 컵(터보 펌프 입구)에 부식 및 입자가 축적되는 것을 방지하기 위해, Edwards는 부식 방지 로터 컵 커버를 개발하여 스테인리스강 구성 요소의 증착과 부식을 모두 방지합니다.
고온 펌프
또 다른 오염원은 터보 펌프 내부의 증착에서 비롯되며, 부산물이 터보 펌프를 통해 챔버로 다시 이동할 수도 있습니다. 고온 펌프를 사용하면 가스 경로가 매우 높은 온도까지 가열되어 증착 상태가 완화됩니다. 이러한 펌프는 로터 및 스테이터와 같이 주요 부품에 높은 열 방사율 코팅과 같은 기술이 적용되어 있으며, 온도를 최적화합니다.
서비스 기술 센터에서 제공하는 정기 유지보수 서비스 중 업그레이드를 진행하여 새로운 부산물 저감 기술로 신규 제 및 기존에 사용하던 제품에 대한 생산성을 최적화할 수 있습니다.
Harsh 공정 대응이 가능한 XCEDE 건식 펌프 보호 기술
XCEDE 건식 펌프 보호 기술은 펌프를 구성하는 주요 부품의 부식을 방지하고 서비스 주기 간 간격을 늘려 가동 시간을 극대화합니다. 이 기술은 Edwards IH, iXH 및 iXM 펌프 제품군의 펌프 메커니즘 내에서 화학적 및 기계적 마모를 줄이기 위한 표면 처리 및 정밀 엔지니어링 조합을 사용하여 성능이 뛰어납니다.
총 소유 비용 최소화
장비의 효율을 높여 서비스 간 간격을 늘리고 총 소유 비용을 절감할 수 있도 도와줍니다.
가스 저감 시스템의 Porous Head
Edwards는 소결된 다공성 금속 블록을 사용한 현장 서비스 업그레이드인 Porous Head를 개발했습니다. 이 업그레이드는 표면 전체에 공기 퍼지를 고르게 분산시켜 파우더 축적 위험을 줄여주며 기존의 세라믹 절연체 헤드를 대체할 수 있습니다.
일반적으로 저감 공정에서 발생되는 고체(파우더)가 장비의 원치 않는 부분에 쌓일 수 있습니다. 이러한 파우더의 축적은 공정 가스의 흐름을 막아 서비스를 자주 유발합니다. 1년 동안 열악한 공정에서 이러한 파우더 축적으로 인해 9회 이상의 서비스 중단이 발생하여 인건비와 예비 부품 사용으로 인한 소유 비용 증가가 발생할 수 있습니다.
Porous Head로 업그레이드한 고객들은 연간 10회의 서비스 주기를 평균 2회로 줄일 수 있었습니다. 이로 인해 백업 저감 시스템이 없는 고객의 경우, 연간 평균 64시간이나 발생하는 장비 가동 중지 시간을 걱정하지 않게 되었으며 50만 달러 상당의 추가 처리량을 확보할 수 있었습니다.
백업 저감 시스템을 사용하는 고객은 백업 시스템에 대한 의존도를 줄임으로써 예비 부품, 정비 인력, 에너지 효율성 증대로 인해 상당한 절감 효과를 볼 수 있습니다.
수명 서비스
5년 이상 사용한 기계류가 있는 장비는 기계 성능에 관계없이 주요 전자 장치에 예기치 않은 고장이 발생할 위험이 있으며, 이는 주로 효과적인 유지보수 체제를 통해 예방할 수 있습니다.
Edwards 수명 서비스 솔루션은 장비를 새로 고치고 장비의 수명을 연장하기 위한 훌륭한 옵션입니다. 수명 서비스는 보증 기간이 연장된 모든 주요 시스템 전자 부품에 적용되므로 향후 수년간 장비를 가동할 수 있습니다.
Life Service는 글로벌 서비스 기술 센터 네트워크를 통해 이용할 수 있습니다.
친환경 업그레이드
장비 수명을 늘리고 환경적 영향을 줄여 지속 가능성 목표를 달성할 수 있도록 설계된 업그레이드입니다.
Edwards의 에너지 절약 업그레이드를 통해 생산에 드는 에너지 비용을 절감
iXH1210을 이 Edwards 건식 펌프로 업그레이드하는 과정은 현장 팀이 추가 작업을 할 필요가 없고 업그레이드 과정에서 가동 중지로 인한 손실이 없으므로 손쉽게 교체가 가능합니다.
또한 업그레이드 후 장비 운영 시 에너지 비용을 거의 3분의 1로 절감할 수 있고 탄소 배출량을 감소시켜 환경에 영향을 덜 끼치게 되므로 환경 목표 달성에도 도움을 줄 수 있습니다. 이번 업그레이드가 '에너지 절감 업그레이드'라고 불리는 이유 중 하나입니다.
귀사 팹에 있는 펌프들을 업그레이드 함으로써 얻을 수 있는 효과를 생각해 보십시오.
또한 업그레이드 과정은 Edwards Intelligent Service 업그레이드 프로세스를 통해서 진행되기 때문에 고객이 새 펌프를 위한 투자 계획을 따로 세울 필요가 없다는 장점도 있습니다.
열 교환기
가스저감 제품에 대한 정기적이고 꼼꼼한 점검 진행하지 않을 경우, 팹 전체에 냉각수 오염이 발생할 수 있습니다. 대부분의 시스템에서의 열 교환기는 산성을 띄는 공정 화학물질로 인한 부식에 취약하며, 이 경우 팹의 공정 냉각수로 누출될 위험 또한 있습니다. 이 오염은 동일한 냉각수 회로를 사용하는 다른 공정 툴을 손상시킬 수 있으며 폐기 시에도 환경에 위험을 초래할 수 있습니다.
열 교환기 업그레이드 키트는 기존의 브레이징된 열 교환기를 시스템에 대한 큰 변화 없이 새 플레이트와 개스킷 설계만으로 업그레이드를 진행합니다. 이 제품은 기존 열 교환기 모델과 비교하여 산성 물질 공격에 대한 저항성을 개선하여 사용 수명이 약 5-10배 향상되었으며 팹 냉각수 오염의 위험을 줄여줍니다.
