크라이오칠러와 크라이오쿨러
에드워드 폴리콜드 크라이오칠러 솔루션
에드워드의 폴리콜드 칠러는 최대 4,000와트의 냉각을 제공하는 폐쇄 루프 극저온 냉각 시스템입니다. 진공 프로세스 내에서 수증기 및 기타 응축 가능한 물질을 포집하여 진공 도달 시간과 품질을 크게 향상시키는 데 사용할 수 있습니다. 폴리콜드 제품은 반도체 생산에 사용되는 정전척(Electrostatic Chucks)을 냉각하거나 시그널 포착을 개선하기 위한 다양한 센서 기술을 냉각하는 등의 직접 냉각 애플리케이션에도 사용될 수 있습니다.
주요 기능
- 100 ~ 4,000와트의 냉각 기능
- 온도 범위 -98°C ~ -203°C
- 연속 냉각기능
- CE, SEMI F47 & SEMI S2 준수
- CFC, HCFC가 없는 냉매 가스로, 미국 및 유럽인증 획득
- 안정적인 성능
- 유지보수가 거의 필요 없는 긴 제품수명
