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Edwards 工艺气体分析仪——用于半导体应用的实时工艺控制
iTrap® 是一款紧凑型高灵敏度的离子阱傅立叶变换质谱仪。它是进行工艺分析和在线工艺控制的理想工具。它可用于研发和生产环境。iTrap 能帮助您可靠地检测反应副产物或污染物的微量痕迹，帮助您调查清洁效果和分析处理室的运行状况。质谱几乎是实时测量的。您可以在您的工艺处理室中追踪很少量的分子。iTrap 是一款适合研究人员或工艺开发工程师使用的强大工具，也可用作由其他工艺工具设备集成和控制的智能传感器。
优点
Edwards iTrap 的优点通过以下方面得到印证：
- 速度 | 可进行实时测量，全频谱 < 0.5 秒
- 灵敏度 | 微量痕迹浓度测量
- 紧凑 | 可与工艺处理室集成。标准化软件接口，可用于外部化学品。
- 耐腐蚀 | 惰性表面，无检测器。可耐受氘、氯、氟和其他腐蚀性化学品
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