STEIGERN SIE DIE PRODUKTIVITÄT BEI GLEICHZEITIGER SENKUNG DER KOSTEN UND DER UMWELTBELASTUNG
Im Rahmen unseres kontinuierlichen Verbesserungsprozesses entwickeln wir Upgrades, die unseren Kunden dabei helfen, die Leistung ihrer Maschinen zu verbessern, die Betriebskosten zu senken und ihre Nachhaltigkeitsziele zu erreichen.
- Schutz der Anlagenleistung
- Verringerung der Gesamtbetriebskosten
- Umwelt-Upgrades
SCHUTZ DER ANLAGENLEISTUNG
Upgrades, die darauf ausgelegt sind, die Maschinenleistung zu verbessern und die Produktivität Ihres Betriebs zu steigern
Upgrades zur Partikelreduzierung am Werkzeug für Maglev-Turbopumpen
In unserem ständigen Bestreben, die Produktivität und die Gewinne unserer Kunden zu steigern, haben wir eine Reihe von Lösungen entwickelt, die es ermöglichen, die Verunreinigung durch Partikel auf der Wafer-Oberfläche bei Halbleiteranwendungen zu reduzieren, indem sie drei Technologien am Werkzeug einsetzen: unsere Anti-Recoil-Technologie, eine Rotortopfabdeckung und den Einsatz von Hochtemperaturpumpen.
Anti-Recoil-Technologie
Während der Produktion können Partikel von der Turbomolekularpumpe in die Kammer zurückprallen, wodurch die Wafer verunreinigt werden können und die Produktivität sinkt. Unsere Anti-Recoil-Technologie reduziert die Verunreinigung durch Partikel erheblich, indem sie diese problemlos durch die Pumpe in den Auslass gelangen lässt.
Rotortopfabdeckung
Um Korrosion und Partikelablagerungen auf dem Rotortopf am Einlass der Turbomolekularpumpe zu verhindern, haben wir eine korrosionsbeständige Abdeckung entwickelt, die sowohl die Bildung von Ablagerungen als auch die Korrosion der Edelstahlkomponenten verhindert.
Hochtemperaturpumpen
Eine weitere Quelle für die Verunreinigung durch Partikel sind Ablagerungen in der Turbomolekularpumpe, die dazu führen können, dass Partikel durch die Pumpe zurück in die Kammer gelangen. Durch den Einsatz von Hochtemperaturpumpen wird der Gasweg auf extrem hohe Temperaturen aufgeheizt, wodurch die Bildung von Ablagerungen verringert wird. Diese Pumpen verfügen über eine spezielle Beschichtung mit hohem Wärmeemissionsvermögen auf den wichtigsten Vakuumkomponenten wie dem Rotor und dem Stator, und das Temperaturprofil wird für beste Ergebnisse kontinuierlich optimiert.
Alle drei Technologien zur Partikelreduzierung können im Rahmen einer regulären Pumpenwartung in unserem Service Technology Center installiert werden, damit die Kunden die Produktivität ihrer neuen und ihrer bestehenden Anlagen optimieren können.
XCEDE-Schutz für trockenlaufende Pumpen für raue Fertigungsprozesse
Der XCEDE-Schutz für trockenlaufende Pumpen verhindert die Korrosion wichtiger Pumpenkomponenten und verlängert die Wartungsintervalle, wodurch die Betriebszeit für den Kunden maximiert wird. Diese Technologie übertrifft alle konkurrierenden Methoden, indem sie eine komplexe Kombination aus Oberflächenbehandlung und Präzisionstechnik einsetzt, um den chemischen und mechanischen Verschleiß innerhalb des Pumpenmechanismus der Pumpenbaureihen iH, iXH und iXM von Edwards zu reduzieren.
VERRINGERUNG DER GESAMTBETRIEBSKOSTEN
Upgrades, die die Wartungsintervalle verlängern und die Effizienz Ihrer Geräteflotte verbessern, um die Gesamtbetriebskosten zu senken.
Poröser Abgasreinigungskopf
Edwards hat den porösen Abgasreinigungskopf entwickelt, ein Vor-Ort-Upgrade, bei dem ein gesinterter, poröser Metallblock zum Einsatz kommt, der eine Luftspülung gleichmäßig über die Oberfläche verteilt, um das Risiko einer Pulveransammlung zu verringern. Er ersetzt den herkömmlichen keramischen Isolierkopf.
Während des Reinigungsprozesses können sich Feststoffe, wobei es sich zumeist um Pulver handelt, in unerwünschten Bereichen des Systems ablagern, z. B. an der Unterseite des Einlasskopfes. Diese Pulveransammlungen führen zu Verstopfungen, die den Fluss der Prozessgase behindern und häufige geplante Serviceeinsätze erfordern. Bei schwierigen Prozessen können diese Pulverablagerungen mehr als neun Serviceunterbrechungen in einem Jahr verursachen, was zu erhöhten Betriebskosten durch Arbeitsaufwand und Ersatzteilverbrauch führt.
Bei Kunden, die das Upgrade mit dem porösen Abgasreinigungskopf nutzen, haben sich die jährlichen Wartungsintervalle von zehn auf durchschnittlich nur zwei reduziert. Das hat bei Kunden, die über kein Backup-Abgasreinigungssystem verfügen, zu durchschnittlich 64 Stunden weniger Ausfallzeit des Werkzeugs pro Jahr geführt, was einen zusätzlichen Durchsatz von 1,5 Millionen Dollar bedeutet.
Kunden, die über ein Backup-Abgasreinigungssystem verfügen, profitieren von erheblichen Einsparungen bei Ersatzteilen und Wartungsarbeiten sowie von einer höheren Energieeffizienz, da sie weniger abhängig von ihrem Backup-System sind.
Life Services
Bei Flotten mit Maschinen, die länger als fünf Jahre im Einsatz sind, besteht das Risiko von kritischen Elektronikausfällen, unabhängig von ihrer mechanischen Leistung, die hauptsächlich durch effektive Wartungspläne aufrechterhalten wird.
Die Life Services von Edwards sind eine hervorragende Option zur Aktualisierung von Maschinen und zur Verlängerung der Lebensdauer Ihrer Flotte. Die Life Services decken alle relevanten elektronischen Teile des Systems mit erweiterten Garantien ab und sorgen dafür, dass Ihre Geräte noch viele Jahre in Betrieb bleiben können.
Die Life Services sind über unser weltweites Netzwerk von Service Technology Centres erhältlich.
UMWELT-UPGRADES
Upgrades, die die Lebensdauer Ihrer Geräteflotte und deren Umweltverträglichkeit steigern und Ihnen dabei helfen, Ihre Nachhaltigkeitsziele zu erreichen.
Senkung der Energiekosten in der Produktion durch unsere energiesparenden Upgrades
Dieses Upgrade für trockenlaufende Pumpen vom Typ iXH1210 von Edwards ist ein einfacher Austausch ohne zusätzliche Arbeit für die Teams vor Ort und ohne Ausfallzeiten während des Upgrade-Prozesses.
Es senkt Ihre Energiekosten um fast ein Drittel und trägt dazu bei, die Auswirkungen auf die Umwelt zu verringern, indem es mehr CO2-Emissionen einspart und so zu Ihren Umweltschutzzielen beiträgt. Kein Wunder, dass wir es das Energiespar-Upgrade nennen.
Nun stellen Sie sich vor, Sie multiplizieren diese Zahlen mit der Anzahl der Pumpen, die in Ihrer Fabrik aufgerüstet werden können.
Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass unsere Kunden keine Investitionskosten für neue Pumpen einplanen müssen, da das Upgrade durch den Edwards Intelligent Service-Upgrade-Prozess erfolgen kann.
Wärmetauscher
Die Verunreinigung des Kühlwassers in der gesamten Fabrik ist ein Risiko, das von Abgasreinigungssystemen ohne strenge Wartungspläne ausgeht. In vielen Systemen sind die Wärmetauscher anfällig für Korrosionsschäden durch säurehaltige Prozesschemikalien, die ein Leck im Prozesskühlwasser der Fabrik verursachen können. Diese Verunreinigung kann weitere Prozesswerkzeuge beschädigen, die denselben Kühlwasserkreislauf nutzen. Außerdem stellt sie eine Gefahr für die Umwelt dar, da sie problematisch bei der Entsorgung ist.
Das Upgrade-Kit für Wärmetauscher ist eine effektive Vor-Ort-Lösung, die den vorhandenen verlöteten Wärmetauscher in ein neues Platten- und Dichtungsdesign umwandelt, ohne dass das System wesentlich verändert werden muss. Es sorgt im Vergleich zu den Original-Wärmetauschern für eine verbesserte Widerstandsfähigkeit gegen Säuren, eine fünf- bis zehnmal längere Lebensdauer und ein geringeres Risiko der Verunreinigung des Anlagenkühlwassers.
