Edwards nXLi空冷単相ドライポンプ
Edwards空冷nXLiドライポンプシリーズは、世界中どこでも一貫した性能を提供します。世界中に安定したパフォーマンスを提供するよう設計されています。
nXLiで世界を革新
nXL110iとnXL200i空冷単相ドライポンプ
この新しい単相ポンプには2つのオプションがあります。nXL110iとnXL200iの2つのオプションがあります。両方ともLCMSとICPMSデューティに合わせて最適化されており、最大25 slmまでガス負荷を処理できます。nXLiは、継続的インレット圧力最大15 mbar、最大100リットルまでのチャンバの一次的な排気に使用することができます。