クライオチラーとクライオクーラー
エドワーズPolycoldチラーシリーズ
Polycoldクライオチラーは、最大4,000ワットの冷却が可能な閉ループ極低温冷凍システムです。このシステムにより、真空プロセス内で水蒸気やその他の凝縮性物質を捕捉し、真空生成の時間と品質の両方を大幅に改善できます。Polycold製品は、半導体製造で使用される静電チャックの冷却や、信号キャプチャを改善するための各種センサー技術の冷却などの直接冷却用途にも使用可能です。
主な機能
- 冷却能力100～4000ワットのモデルをご用意
- 温度範囲は-203～-98℃
- 定格連続冷却
- CE、SEMI F47、SEMI S2に準拠
- 冷媒ガスは、US EPA-SNAP認証、CFCフリー、HCFCフリー、EUの規制に準拠しています
- 信頼できる性能
- 長寿命で低保守または保守不要
