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快来查看超高真空领域专用

Hytan NEG 离子型真空泵

Edwards通过 Gamma Vacuum 提供一系列离子泵、NEG-离子组合泵、钛升华泵、非蒸发型吸气泵(NEG)和各类附件

从便携式质谱分析仪到大型粒子加速器,我们能够为多种应用创造高真空 (HV) 和超高真空 (UHV) 环境。

Edwards离子泵复合泵超高真空专用

HyTan NEG-离子泵

NEG 泵可以高速抽取 H2 以及 N、O2 和 CO 等化学性质活跃的气体,离子泵可以有效地抽取各种气体种类,尤其是惰性气体和甲烷。HyTan NEG-离子泵将这两种技术组合到一款紧凑型 UHV 泵中。

NEG 泵具有可更换模块,可提供 100 – 500 l/s 的氢气抽速,而离子泵模块采用卓越的传统二级泵结构,这种创新技术适用于各种 UHV 应用。

HyTan NEG-离子泵尺寸紧凑,可以将泵组装到真空腔室中,因此非常适合空间受限的 UHV 环境。