优质的真空性能和能效
EDWARDS CTI-Cryogenics IS 低温泵系统利用创新的高效技术，提供优质的真空性能和能效。
分布式控制系统可监测并不断调整低温泵系统的各个元件，以保持优异的全系统真空性能，从而实现出色的流程一致性。在当今可用的任何低温泵系统中，On-Board IS 低温泵的正常运行时间更长、生产率更佳且总拥有成本更低，该产品由 Edwards 响应敏捷的全球服务和支持网络提供支持。
IS XP
On-Board® IS XP 低温泵为 PVD 应用提供较大容量，以实现最高生产率，同时保持工艺透明度。同时，它还利用了 On-Board® IS 久经考验的能效、一致的性能和低拥有成本。
- 该泵提供容量冗余，以用于将来的流程改进
- 更低的拥有成本
- 延长正常运行时间
- 智能的“自我调节”技术，实现稳定的真空性能
IS 320FX 低温泵
On-Board® IS 320FX 低温泵专为解决当今离子植入工艺的挑战而开发，可优化氢气抽取速度和容量，同时保持您期望的质量、性能和可靠性。
- 专为离子注入应用而设计
- 针对低温设备的处理能力进行了优化
- 智能的“自我调节”技术
- 更低的拥有成本
- 质量可靠，稳定在线
On-Board® IS 320F XVS 低温泵
低温泵性能水平再上一层楼
CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F 低温泵秉承 Edwards 的优良传统，打造出市场上可靠性与操作性俱佳的注入式低温泵。
