Vacuum Solutions for Industrial Coating - Brochure
EDWARDS 创新薄膜技术的真空解决方案
薄膜涂层技术已成为我们生活中非常重要的组成部分，无论是眼镜或镜框、手机、相机镜头、金属食品袋、门把手、装饰人物，还是太阳能电池板制造中的工业应用，以保留光能，还是电子电路的制造。其用途广泛，是许多日常物品的支持功能。
列表是无尽的，不断发现用于将金属、化合物或氧化物沉积到基材（如金属）上的新工艺, 塑料或陶瓷，以及改变这些基材的表面特性，以及改变透射率、反射率、硬度等特性, 电阻、吸收、腐蚀和电气行为。一些示例包括提高了医疗和环境传感器的准确性和灵敏度、低发射率眼镜、带防反射涂层的眼镜、用于触摸屏的防指纹涂层, 汽车摄像机保护 (DLC) 涂层，食品包装扩散屏障，防水表面，假体摩擦涂层, 智能手机上的鲜艳色彩和图形，太阳能电池板效率更高效。
薄膜涂层的工作原理是什么？
薄膜沉积技术可以简单地划分为物理过程和化学过程。
物理气相沉积 (PVD)
这涉及材料从固态蒸发，并在较低温度下冷凝到基底上。这些工艺通常在高真空环境中进行，其中前级真空泵与二级真空泵（如涡轮 分子泵 、低温泵或扩散泵）相结合。为了缩短抽空时间并提高吞吐量，可以在涂装室中增加额外的低温水蒸汽抽取，即所谓的 Polycold TM 。
简而言之，主要根据蒸发技术存在不同的 PVD 工艺：
- 电阻式热源
- 电子束
- 电弧放电
- 磁控管等离子溅射
- 离子束溅射
PVD 镀膜还可以根据其结构设计进行分割：
- 批量涂布机或箱式涂布机：产品在每个沉积过程后装载和卸载。
- 卷对卷涂布机：将源柔性卷材连续送入涂布工艺室，然后重新卷绕到单独的卷材上，然后在工艺完成时取出。
- 内联涂布机：满足高处理量要求的真正连续涂布机，产品装载到进料室（也称为装载室或装载锁）中，然后通过出料室（也称为卸料室）出料。
化学气相沉积反应器
这是一种沉积技术，其中源材料或前体以气相引入腔室或反应器，通常在基底上冷凝之前与其他气体发生化学反应。这些过程通常在 10 -3 mbar 及更高压力下进行。化学沉积过程取决于反应的启动方式，简单的热反应，或在减压 (LPCVD) 或等离子体辅助（PECVD 或 PACVD）的帮助下进行。原子层沉积 (ALD) 和液相外延生成工艺的近期进展在电子行业中不断加速。
下面介绍EDWARDS 专为薄膜镀膜工艺提供的精密真空解决方案
