Vacuum Solutions for Industrial Coating - Brochure
EDWARDS 创新薄膜技术的真空解决方案
薄膜镀膜技术已全面融入人类生活的方方面面，成为至关重要的组成部分。无论是眼镜镜片、镜架、手机、相机镜头、镀金属食品包装袋、门把手、装饰摆件等民用消费品领域，还是太阳能电池板制造（用于光能储存）、电子电路生产等工业制造领域，都能看到它的身影。这项技术的应用范围十分广泛，为众多日常用品提供了功能支撑。
相关应用案例不胜枚举，各类新型镀膜工艺正被持续研发 —— 这些工艺可将金属、化合物或氧化物沉积于金属、塑料、陶瓷等各类基体表面，借此改变基体的表面特性，改善其透光率、反射率、硬度、耐受性、吸收率、耐腐蚀性及电学性能等关键指标。典型应用案例包括：医疗与环境传感器的精度和灵敏度提升、低辐射玻璃的制备、具备抗反射涂层的眼镜镜片、触摸屏专用抗指纹涂层、车载摄像头类金刚石（DLC）防护涂层、食品包装用防渗透阻隔层、疏水抗污表面处理、人造关节专用摩擦学涂层、智能手机的高饱和度色彩与高清图案实现，以及太阳能电池板的能效提升。
薄膜镀膜的工作原理是什么？
薄膜镀膜的沉积技术可以简单地划分为物理过程和化学过程。
物理气相沉积 (PVD)
该工艺的原理是将材料从固态直接汽化，再使其冷凝沉积于温度更低的基体表面。这类工艺通常需在高真空环境下进行，需将前级真空泵与涡轮分子泵、低温泵或扩散泵等次级真空泵组合使用。若要缩短抽气时间、提升生产效率，可在镀膜腔室内额外配置低温水汽捕集泵 —— 即业内所称的 Polycold™ 技术。
简而言之，主要根据蒸发技术存在不同的 PVD 工艺：
- 电阻式热源
- 电子束
- 电弧放电
- 磁控管等离子溅射
- 离子束溅射
PVD 镀膜还可以根据其结构设计进行分割：
- 间歇式镀膜机或箱式涂布机：每次镀膜工艺完成后，再对产品进行装卸料操作。
- 卷对卷涂布机：将源柔性卷材连续送入涂布工艺室，然后重新卷绕到单独的卷材上，然后在工艺完成时取出。
- 内联涂布机：满足高处理量要求的真正连续涂布机，产品装载到进料室（也称为装载室或装载锁）中，然后通过出料室（也称为卸料室）出料。
化学气相沉积 (CVD)
这是一种沉积技术，其中源材料或前体以气相引入腔室或反应器，通常在基底上冷凝之前与其他气体发生化学反应。这些过程通常在 10 -3 mbar 及更高压力下进行。化学沉积过程取决于反应的启动方式，简单的热反应，或在减压 (LPCVD) 或等离子体辅助（PECVD 或 PACVD）的帮助下进行。原子层沉积 (ALD) 和液相外延生成工艺的近期进展在电子行业中不断发展。
以下是 EDWARDS 用于薄膜涂覆工艺的精密真空解决方案
意大利涂料专家 - Kolzer 优化 PVD 沉积
