EXS 干式螺杆真空泵

提高了粗抽速度，提升了低压性能，适用于恶劣的工业应用环境

EXS 干式螺杆真空泵

EXS 泵使用的技术与 GXS 泵相同，旨在将我们的市场前沿技术优势融入到注重简单性和耐用性的成套设备中。凭借更出色的性能、简单的控制理念和较低的维护成本，EXS 泵将在未来许多年稳定可靠地运行。我们的 EXS 系列干式螺杆真空泵提供 EXS160~750 和增压机组合。

坚固耐用的设计特点

可靠的新型气体系统，配有手动气镇控制装置和美观的金属板保护外壳。

简单的电气策略

内置现成逆变器，简化了连接和通信。安装有保护传感器，电气设计可靠、保险。

功耗低且电耗低

由于功耗低且电耗低，EXS 的碳排放非常低。不产生需要专门处置的废弃或脏污的机油，这也有利于环保。

提高了粗抽速度，提升了低压性能

处理速度更快，抽空时间更短，因而生产效率更高；干式螺杆真空泵极限低压降至 <1 x 10^-2，泵和增压器组合低压降至 <1 x 10^-3。

无接触式长效密封件

无接触式长效密封件，配有一体式阻油迷宫密封圈，提供有效的密封性能。

先进的核心技术

先进的优质轴承和具有低蒸气压力的专用油，确保应用兼容性。

详细的数据洞察与简易控制

通过包括 I/O、现场总线通信、物联网在内的各种连接解决方案，可实时详细了解和访问泵的状态。

应用
技术规格
下载

EXS 泵在多个行业内得到广泛的使用，包括：

锂离子电池

电极干燥
电解液注液
电池化成

冶金

真空钎焊
电子束焊接
硝基碳化
低压氮化
低压碳化
碳蒸汽浸渍
烧结
金属注射成型
精密熔模铸造
真空电弧精炼
钢水除气

等离子加工

等离子焊接
等离子体氮化

脱气

太空模拟舱
气体回收/循环
负载固定舱

太阳能

硅晶体拉拔
光伏层压

镀膜应用

辊涂/卷绕镀膜
硬涂层 (CVD/DLC)
表面活化
等离子喷涂
玻璃镀膜

规格		设备	EXS160	EXS160/1750	EXS250	EXS250/2600
常规信息	极限真空	mbar (Torr)	1x10^-2 (8x10^-3)	<1x10^-3 (<8x10^-4)	1x10^-2 (8x10^-3)	<1x10^-3 (<8x10^-4)
	峰值抽速	m³/hr (cfm)	160 (94)	1200 (706)	250 (147)	1900 (1118)
	最大转子速度	Rev/min	6600	DP：6600 MB：6120	6600	DP：6600 MB：6120
	进口/出口		ISO63/NW40	ISO100/NW40	ISO63/NW40	ISO160/NW40
电气	电力供应	V	380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz	380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz	380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz	380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz
	极限功率	kW (hp)	3.8 (5.1)	5.1 (6.8)	4.0 (5.4)	5.3 (7.1)
	满载功率	kW (hp)	5.0 (6.7)	7.4 (9.9)	9.0 (12.1)	9.7 (13.0)
冷却	连接方式	in	⅜" BSP 外螺纹
	冷却空气流量（始终打开）	l/min (gal/min)	4.0 (1.1)	7.0 (1.9)	4.0 (1.1)	7.0 (1.9)
	最小压差	bar	1
	供应压力上限值	barg (psig)	6.9 (100)
	温度	°C (°F)	5-40 (41-104)
净化	连接方式	in	½" BSP 外螺纹
	压力	barg (psig)	2.5-6.9 (36-100)
	轴封流量（始终打开）	l/min (gal/min)	12 (3.17)
	气镇流量（手动调节）	l/min (gal/min)	0-50 (0-13.2)
运行	环境温度范围	°C (°F)	5-40 (41-104)
	噪声级别（使用消音器时）	dB(A)	<64
	最大排气背压	bara (psig)	1.2 (17.4)
润滑	润滑油		PFPE Drynert 25/6
	油量	l (gal)	0.7 (0.2)	1.4 (0.4)	0.7 (0.2)	1.4 (0.4)

规格		设备	EXS450	EXS450/2600	EXS450/4200	EXS750	EXS750/2600	EXS750/4200
常规信息	极限真空	mbar (Torr)	1x10^-2 (8x10^-3)	<1x10^-3 (<8x10^-4)	<1x10^-3 (<8x10^-4)	1x10^-2 (8x10^-3)	<1x10^-3 (<8x10^-4)	<1x10^-3 (<8x10^-4)
	峰值抽速	m³/hr (cfm)	450 (265)	2200 (1295)	3026 (1781)	740 (435)	2300 (1354)	3450 (2032)
	最大转子速度	Rev/min	6600	DP：6600 MB：6120	DP：6600 MB：6120	6600	DP：6600 MB：6120	DP：6600 MB：6120
	进口/出口		ISO100/NW50	ISO160/ISO63	ISO160/ISO63	ISO100/NW50	ISO160/ISO63	ISO160/ISO63
电气	电力供应	V	380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz	380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz	380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz	380 - 460 3Ph 50/60Hz	380 - 460 3Ph 50/60Hz	380 - 460 3Ph 50/60Hz
	极限功率	kW (hp)	7.2 (9.6)	8.8 (11.8)	9.4 (12.6)	10.5 (14)	11.1 (14.9)	12 (16)
	满载功率	kW (hp)	17.3 (23.2)	16 (21.5)	18.5 (24.8)	22 (30)	24 (32.2)	24 (32.2)
冷却	连接方式	in	⅜" BSP 外螺纹
	冷却空气流量（始终打开）	l/min (gal/min)	10 (2.6)	12 (3.2)	12 (3.2)	12 (3.2)	15 (4)	15 (4)
	最小压差	bar	1
	供应压力上限值	barg (psig)	6.9 (100)
	温度	°C (°F)	5-40 (41-104)
净化	连接方式	in	½" BSP 外螺纹
	压力	barg (psig)	2.5-6.9 (36-100)
	轴封流量（始终打开）	l/min (gal/min)	12 (3.17)
	气镇流量（手动调节）	l/min (gal/min)	0-130 (0-34.3)
运行	环境温度范围	°C (°F)	5-40 (41-104)
	噪声级别（使用消音器时）	dB(A)	<64			<70
	最大排气背压	bara (psig)	1.2 (17.4)
润滑	润滑油		PFPE Drynert 25/6
润滑	油量	l (gal)	1.8 (0.5)	2.5 (0.7)	3.6 (1.0)	2.4 (0.6)	3.1 (0.8)	4.2 (1.1)