Regis（活性气体注入系统）是一种使用远程等离子技术来延长泵使用寿命的化学反应系统。
新一代 Regis 采用独特的反应室设计，可确保工艺气体在进入泵之前高效地进行反应，从而将泵的使用寿命延长至 300 天以上。
与上一代 Regis 相比，新一代系统的占地面积减少了 26.5%。新型 Regis 系统与重型应用系列的干式真空泵相结合，为一系列工艺流程提供尽可能长的泵运行时间和尽可能高的工艺稳定性。
功能和优势：
- 拥有成本更低：
Regis 可将泵的使用寿命延长至 300 天或更长时间
使用 FTIR 研究优化了 NF3 流速，以尽可能降低 CoO。
由于采用了新的反应室设计，反应效率提高了一倍。
- 充分延长工具正常运行时间：
在线连续运行。
缩短了频繁换泵导致的工具停机时间。
- 全封闭系统，包括机柜抽取端口。
- PLC 控制：
工具信号控制 ReGIS 等离子点火功能。
增强的安全性。
全面的系统监控。
- 促进工艺稳定性：
性能无损。
电导率无变化。
Edwards Regis
