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引领创新 100 多年
100 多年来，我们一直在不断提高我们的真空泵技术和系统能力，帮助您将制造工艺变得更清洁、更智能、更经济和更环保。
为您的工业应用选择合适的真空解决方案
真空泵广泛用于各种工业应用中，用于产生真空或低压环境，暴露在非常不同的操作和工艺条件下。在选择真空泵时，需要考虑许多因素，例如物理容积、气体成分、工艺参数或环境条件。
这些因素对于正确选择泵以及实现最佳设计和生产效率至关重要。得益于我们数十年的应用专业知识和高级专有建模软件，EDWARDS 应用工程师随时准备帮助您选择适合您制造需求的真空解决方案。
我们支持的工业应用
工业气体产品
真空泵在工业气体生产中用于各种应用，包括储气罐灌装、用于回收高纯度氢气、甲烷和二氧化碳（碳捕获）的真空压力波动吸附 (VPSA) 以及生成氧气和氮气（空气分离）。
EDWARDS 干泵的另一个应用领域是低温应用，如气体液化，其中真空用于隔热，以减少热损失和蒸发。
灭菌
真空技术在许多医疗保健和生命科学应用中发挥着重要作用。灭菌是消除可能污染制药材料、设备或医疗设备并因此导致健康危害的微生物的关键过程。灭菌过程包括高温（蒸汽）或低温（环氧乙烷或 ETO、过氧化氢、等离子体、电子束或电子束）过程，用于对热敏物品进行去污。EDWARDS 适用于危险区域 的干式化学真空技术可实现大多数这些灭菌过程。
晶体生长
晶体生长是一种以高阶和结构化排列生长原子层的过程，以形成高纯度晶体。采用各种技术，诸如从晶种晶体或外延生长沉积生长它们。通常使用的材料包括用于半导体和太阳能电池板市场的硅、用于复合半导体晶圆（III-V）的镁、用于电力设备的碳化硅。钻石种植是半导体、高频传感器、量子计算以及实验室培养消费钻石的新兴技术，需求日益增长。
我们的 GXS 泵 和组合具有内置控制和最先进的螺杆技术，由于其高可靠性和蒸汽处理能力，是您的晶体培养工艺的理想选择。
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