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精确可靠的压力监测

了解直接测压计在各种应用中实现准确读取的关键作用。选择适合您需求的真空计非常重要。

了解我们出色的膜片和电容压力计如何提高您系统的性能和可靠性。

直接测压计:无论气体成分如何,均可实现准确的压力读取。

从工业流程到科学研究,这些真空计在各种应用中都不可或缺。我们的真空计系列主要是以高灵敏度而闻名的膜片真空计。在这些真空计中,暴露于真空环境的膜片会根据气体压力的不同而产生不同程度的偏转,这种偏转用于获得非常精确的压力读数。

了解具体的应用要求、环境条件和压力范围,对于选择合适的真空计至关重要。

ASG2 膜片真空计

有源应变仪 (ASG2) 采用先进的膜片技术,可提供不受气体影响的精确压力测量。

凭借其坚固耐用的耐腐蚀设计,该真空计可耐受恶劣的环境,并在 2000 mbar 至 1 mbar 的压力范围内发挥可靠的性能。

ASG2 专为广泛适用而设计,可作为独立的传感器运行,也可与我们的控制器系列之一配合使用,便于与各种其他传感器共同打造全面的真空仪器解决方案。

它采用内置电子驱动器件,可简化系统设计并节省空间。

ASG2 精度高,稳定性好,是监控慢速抽气系统的理想选择,为各种真空仪器需求呈现可靠的解决方案。

EDWARDS ASG2 有源应变仪

ASG2 有源应变仪

Barocel 电容压力计

Barocel® 7000 系列专为复杂的现代制造环境而设计,旨在提供精确的温度补偿压力测量。这些压力计配备先进的数字电子器件,既可增强性能又便于使用,例如一键式调零功能和可调设定点。耐腐蚀陶瓷传感器确保出色的调零稳定性,其设计经久耐用,可承受数百万次压力循环和大气压力的骤然变化。

我们的电容压力计采用坚固的机械设计,可增强电磁兼容性,确保拥有长期的稳定性和出色的温度补偿。该系列在通电后即可快速稳定下来,并能从大气压力峰值迅速恢复。

对于易受冷凝影响的应用,我们的加热型 Barocel® 压力计提供额外的保护,在不同温度条件下保持清晰准确的测量。

EDWARDS Barocel® 7025 电容压力计 - 直角式

Barocel® 7025 电容压力计

Barocel 压力计的优势

  • 满刻度范围为 100 mTorr 至 1000 Torr。
  • 通电后快速稳定下来。
  • 从大气压力快速恢复。
  • 耐腐蚀陶瓷传感器保障长期可靠性。
  • 增强了长期信号稳定性。
  • 支持温度补偿。
  • 高级传感器屏蔽,防止受到污染。
  • 一键式调零功能简化了操作。
  • 与各种电源兼容。

Barocel® 7000 系列为电容压力计技术树立了精度和可靠性方面的新标杆,确保您的流程得到准确、高效的测量。

典型应用

  • 蚀刻、CVD、PVD、ALD 半导体制造设备
  • 数据存储和显示制造设备
  • 工业真空设备
  • 常用高精度压力测量

是否需要现场显示和控制您的系统?

如果您需要这些压力计在现场显示读数,我们提供一种特殊的 TIC 控制器型号,它可以与所有 Barocel 压力计以及我们的标准有源压力计配合工作。

通过一次连接 6 台压力计(不超过 3 台 Barocel 压力计,取决于是加热型还是非加热型),您可以使用单个控制器控制系统的多个区域。

真空计快速概览:

Edwards employee s standing in corridor smiling
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