PRA & WRA RGA - Datasheet
残余气体分析仪
高性能和可操作性的出色平衡
RGA 残余气体分析仪
我们的残余气体分析仪系列包含三种型号，无论您选择哪种型号，它们都操作简单、效果显著，令您在仪器的性能和效率方面享有出色的残余气体分析体验。
独特优势
所有 RGA 均配备易于使用的专用软件
可让您通过笔记本电脑实时跟踪您的流程，并对多达 16 台不同的设备进行详细分析。
对于那些想快速查看结果的人来说，这些设备均配有特别的板载显示屏，无需通过笔记本电脑连接即可显示主要气体类型以及系统的整体压力。
RGA 能对气体及其成分进行分析，此为以下工艺所需：
- 泄漏检测和发现
- 查找并识别污染物
- 确认气体纯度
- 产品/流程质量保证
- 工艺与设备诊断和控制
- 优化工艺性能和产量
满足各种应用的出色解决方案：
- 半导体工艺
- 薄膜和显示屏
- 真空热处理
- 真空冷冻干燥
- 研发
- 高能物理
PRA 一次气体分析仪
提供高性能和可操作性的出色平衡。
- 提供四种型号，以满足您的工艺需求，无论您是只需要基本型号，还是需要灵敏度更高/量程更广的产品。
- PRA 是分析您流程的出色起点。
WRA 宽量程残余气体分析仪
出色产品，技术规格名列市场前茅。
- 可提供 1-200 amu 或 1-300 amu 两种型号，您可以测量制程中的各种气体/副产品。
- 与 PRA 相比，该产品具有更高的灵敏度，可提高测量精度。
eRGA1 残余气体分析仪系统
- 气体分析结果精确，可针对不同的压力定制分析选项。分析系统设计紧凑，集成了 EDWARDS PRA/WRA 残余气体分析仪和 T-Station 85 涡轮分子泵站。
- 分析仪有多种入口选择，可与各种工艺灵活连接。它是泄漏检测、污染物识别、气体纯度验证和过程诊断的理想之选。
- 分析软件和台式配置对用户友好，使得分析仪易于使用。
- eRGA1 应用广、市场大，分析准确、灵活且可靠。
eRGA1 系统让您见证强大的气体分析功能。
eRGA1 残余气体分析仪喷嘴和旁路
eRGA1 残余气体分析仪 UHV 高流导阀
eRGA1 残余气体分析仪 UHV 检漏阀
