2017年6月29日
6 月版的《固态技术》(SST) 杂志正在举办一个虚拟圆桌会议，重点介绍新的 SEMI E175 标准。
真空技术半导体部总裁 Mike Allison 向 Mike Czerniak 及团队颁发 2016 年 Atlas Copco 环保奖。（从左至右，Pete Stammers、Mike Czerniak、Mike Allison 和 Gerald Shelley）
6 月版的 SST 杂志正在举办虚拟圆桌会议，重点介绍新的“SEMI E175 子系统节能模式通信规范”、节能以及与“EtherCAT 半导体技术工作组”独特的成功协作方式。Edwards 环境解决方案业务开发经理兼 SEMI E175 新标准联合主席 Mike Cikeniak 以及 Edwards 沟通和控制高级产品经理 Gerald Shelley 是其中两位回答 SST 一些问题的专家。
这新标准定义了节能模式，结合了 EtherCAT 信号标准，可以帮助车间在工具无操作时节省能源和其他公共设施成本，不会影响后续的晶片加工。
有关圆桌讨论的详细信息，请参阅： http://electroiq.com/blog/2017/06/how-semi-standard-e175-is-saving-energy-and-cutting-costs/ Mike Czerniak 及其团队最近获得了 2016 年 Atlas Copco 环保奖，以表彰他们在该领域的工作。
