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模式开关的功能是什么?

模式开关是 Edwards Vacuum 公司的 RV 系列油封旋片泵的独特功能。它用于将泵从高真空模式切换为高抽气量模式,从而使 RV 泵能够在各种应用中执行双重任务,而在以前,这需要组合使用单级和两级旋片泵才能可靠地运行。

模式开关有哪些优点?

在两级油封旋片泵中,串联使用两级抽气:第一级是高真空,排气至第二级低真空,并最终排气至大气压力。

真空泵油通过油泵和油压调节器(泵机构的一部分)喷射到各级中。泵油用于执行多项任务,包括润滑、密封和散热。

当模式开关处于高真空模式时,油在级间区域脱气,然后以受控的速率进入高真空级。这种脱气方式可实现理想的最终效果。在高抽气量模式下,大量的油流入高真空级,以确保良好的润滑效果。

在高抽气量模式下,我们并不关心泵的最终性能,而只关心它在高真空级不缺乏润滑的情况下处理大量气体负荷的能力。

RV illustration

两级油封旋片泵 (OSRVP) 的简图

  1. 排气阀
  2. 泵进口 

I. 低真空级 
II. 高真空级

油路图

对于泵在相对较高的进口压力下运行较长时间的应用(这种情况下,高压意味着大于 75Torr/100mbar 或约为大气压力的 1/10),应在高抽气量模式下操作泵。

对于在这种高压力/高抽气量模式下运行的常规两级泵,流经高真空级的气体量可能会变得非常高,以至于会夹带通常位于泵内部的油,从而导致泵“干运转”,这意味着泵的运转部件和非运转部件之间有着直接的金属间接触。这就会导致极为快速的磨损和损坏。

模式选择开关可改变泵体内部的油分配路径,以增加进入高真空级的油流量。这可保持润滑,还有助于泵处理内部大量可凝蒸气。

模式控制开关的替代选择是配置两台专用泵:一台单级泵用于高抽气量/高压力运行,一台两级泵用于高真空应用。模式开关允许一台泵在高抽气量和高真空运行中执行双重任务,而不会影响任一模式下的性能。

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