升级的减排系统如何为杰出的半导体制造商节省宝贵的生产时间

晶圆处理能力和保持生产正常运行时间是我们客户的首要任务。

腔室离线和仓储减速会导致晶圆厂效率和晶圆处理能力下降。

然而，问题的症结并非总在于洁净室，而是可能隐藏在辅助间中。

减排系统中积聚的粉末可能会导致制造过程出现停机时间、辅助间服务停止次数增加，以及产生相关成本。
​
由于维护停机次数过多，可能会浪费宝贵的生产时间和辅助间运营时间。每次保养间隔 8 小时，且需要两名工程师，这会耗费宝贵的生产时间和维护费用。

了解这家杰出的功率半导体供应商如何尽可能地降低服务成本，保障宝贵的生产时间并消除对后备减排系统的需求。