Edwards 工艺气体分析仪——用于半导体应用的实时工艺控制
iTrap® 是一款紧凑型高灵敏度的离子阱傅立叶变换质谱仪。它是进行工艺分析和在线工艺控制的理想工具。它可用于研发和生产环境。iTrap 能帮助您可靠地检测反应副产物或污染物的微量痕迹，帮助您调查清洁效果和分析处理室的运行状况。质谱几乎是实时测量的。您可以在您的工艺处理室中追踪很少量的分子。iTrap 是一款适合研究人员或工艺开发工程师使用的强大工具，也可用作由其他工艺工具设备集成和控制的智能传感器。
Edwards iTrap 的优点通过以下方面得到印证：
