涡轮分子泵是一种多级轴流式涡轮机,其中的高速旋转叶片通过增加气体沿泵送方向移动的可能性来实现压缩。涡轮分子泵针对分子流量条件进行了优化,需要一个大小合适的前级泵排气到大气中。
nEXT 涡轮分子泵来自我们久经考验且值得信赖的 EXT 和 STP 系列。
它们提供出色的性能、可靠性和终端用户可维护性,为科学的涡轮分子泵树立了标杆。
nEXT 系列结合了涡轮分子泵的所有新近技术进展,泵的规格多种多样,拥有 55、85、240、300、400、730、925 和 1250 l/s 的氮气泵送速度。这些泵可由最终用户来维护,并为用户提供真正的一流产品。
nEXT55 | nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
入口法兰 | DN63 ISO-K 或 DN63CF | DN40 | DN63 ISO-K 或 DN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K 或 DN100CF | DN100 ISO-K 或 DN100CF | DN160 ISO-K 或 DN160-CF | |
入口抽取速度 ls-1 | N2 | 55 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
Ar | 55 | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
He | 41 | 61 | 78 | 80/78 (D/H) | 230 | 340 | 390 | |
H2 | 27 | 49/44 (D/H) | 60/54 (D/H) | 60/54 (D/H) | 165 | 280 | 325 | |
压缩比 (D) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 |
Ar | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |
He | 8 x 106/2 x 107 (D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | ||||
H2 | 2 x 105/5 x 105 (D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | ||||
压缩比 (T/H) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | ||||
He | 1 x 106 | 3 x 106 | >1 x 108 | |||||
H2 | 1.5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 |
nEXT730D | nEXT930D | nEXT1230 | |||||
ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | DN 200 CF | DN 200 ISO-F | DN 200 ISO-K | |
主入口 泵送速度 |
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N2 ls-1 | 730 | 925 | 1250 | ||||
He ls-1 | 820 | 905 | 1150 | ||||
H2 ls-1 | 715 | 735 | 1350 | ||||
Ar ls-1 | 665 | 865 | 1150 | ||||
从前级端口到主入口端口的峰值压缩比 | |||||||
N2 | >1x1011 | >1x1011 | 1 x 1011 | ||||
He | 1.2X108 | 1.2X108 | 4 x 108 | ||||
H2 | 4X106 | 4X106 | 1 x 107 | ||||
Ar | >1x1011 | >1x1011 | 1 x 1011 | ||||
极限压力 (mbar) (CF) | 3.0X10-10 | 3.0X10-10 | <5 x 10-10 | 表示 ISO-K 和 ISO-F 的压力较高 | |||
重量 (kg) | 14.6 | 19.6 | 15.4 | 21.7 | 32.6 | 24.9 | 23.7 |
全速吞吐量: | |||||||
N2 | 14 | 14 | 12 | ||||
He | 21 | 21 | <20 | ||||
H2 | >14 | >14 | <20 | ||||
Ar | 3.5 | 3.5 | 4 |