快速实现较低的真空度
Edwards Polycold® MaxCool 低温深冷机是一种闭环低温制冷系统，可有效捕获在高真空系统残留气体中占比达 65% 至 95% 的水蒸汽。
这些低温深冷机可用于捕获水蒸汽和其他冷凝物质，方法是将它们冻结在低温盘管或 V 形挡板等低温表面。MaxCool 低温深冷机还可用来冷却和加热半导体晶片加工中使用的静电夹盘等物体。我们产品系列中的不同型号可提供 2000、2500 或 4000 瓦的冷却功率。
抽送水蒸汽
水蒸汽通常是高真空系统中活性较大的污染物。借助 MaxCool 低温深冷机，您可以期待将现有系统的产品处理能力提高 20% 以上，并提高沉积质量。
MaxCool 的优势
- 高真空抽空时间缩减达 75%
- 产品处理能力提高 20% 以上
- 加工过程中水蒸汽分压越低，薄膜质量越高，附着力越好，沉积的重现性越好
- 通过消除液氮的经常性成本，获得快速投资回报
- 通过电源管理尽可能地降低拥有成本
- 适用于多种流程的高容量冷却和加热
当将其添加到您的真空系统中时，MaxCool 低温深冷机可显著减少抽空时间并提高产品处理能力。MaxCool 会在“启动”后的几分钟内抽出水蒸汽，并能够在不到四分钟的时间内除霜，从而实现真正的快速循环能力。它还有一个选项被称为“快速冷却转为冷却”，可消除除霜后的等待时间。对于您的系统而言，这意味着每个班次可以有更多的生产周期。MaxCool 低温深冷机采用 Polycold® 混合制冷剂，并按照 Meissner 冷阱原理工作。水蒸汽在被称为 Meissner 盘管的低温冷却表面上通过冷凝被捕获。Meissner（低温盘管）直接安装在真空腔中，因此导热性不受端口、歧管、阀门和挡板的限制。低温盘管易于安装，可以调整以适配任何系统。它不需要配备高真空阀。
MaxCool 低温深冷机是更具成本效益的升级产品，您可以将其添加至任何使用扩散泵、涡轮泵或氦低温泵进行抽气的系统。
MaxCool 低温深冷机符合欧洲应用制冷剂（EC 1005/2009）、《蒙特利尔协议》和美国 EPA SNAP 标准的规定。
优点
- 通过“快速冷却转为冷却”选项提高生产率
- 具有电源管理选项，可尽量降低拥有成本
- 温度控制
- 充注绿色制冷剂：符合行业标准，无毒且不易燃
- 基于 Polycold® 的成熟、可靠的创新型混合气体制冷技术
- 符合欧盟 PED 和 MD 标准
- 通过 TUV Rheinland 认证，符合 NRTL/加拿大安全标准
- 通过 ISO 9001:2008 认证的制造商
MaxCool 型号规格
|
MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
较大冷却能力 |
2000 W |
2500 W |
4000 W |
较大冷却能力下的温度 |
-111 °C |
-120 °C |
-98 °C |
较低温度 |
-142 °C |
-145 °C |
-133 °C |
极限工作压力（较大抽气速度的 25%） |
3E-9 torr |
8E-10 torr |
5E-8 torr |
典型冷阱面积 |
1.1 m2 |
1.4 m2 |
2.2 m2 |
典型冷阱面积下的较大水蒸汽抽送速度 |
163900 l/s |
208600 l/s |
327800 l/s |
节能式较大冷阱面积* |
1.5 m2 |
2.0 m2 |
2.8 m2 |
耗电量（待机模式） |
5.5 kW |
11.4 kW |
12.0 kW |
耗电量（冷却模式，典型负载） |
6.2 kW |
13.9 kW |
12.4 kW |
耗电量（冷却模式，大负载） |
8.8 kW |
19.2 kW |
19.2 kW |
13 °C 时的冷却水量 |
6.8 l/min |
15.1 l/min |
15.1 l/min |
18 °C 时的冷却水量 |
9.1 l/min |
18.2 l/min |
18.2 l/min |
24 °C 时的冷却水量 |
13.6 l/min |
27.3 l/min |
27.3 l/min |
29 °C 时的冷却水量 |
27.6 l/min |
54.1 l/min |
54.1 l/min |
符合欧洲 PED 标准 |
是 |
是 |
是 |
无毒制冷剂 |
是 |
是 |
是 |
非易燃制冷剂 |
是 |
是 |
是 |
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2000 535.8 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2500L 542.4 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 4000H 544.5 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet MaxCool Cryochillers 772.3 kB, PDF
