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iTrap® Process Gas Analyzers

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Image of the Edwards process gas analyser iTrap

iTrap® 是一款紧凑型高灵敏度的离子阱傅立叶变换质谱仪。它是进行工艺分析和在线工艺控制的理想工具。它可用于研发和生产环境。iTrap 能帮助您可靠地检测反应副产物或污染物的微量痕迹,帮助您调查清洁效果和分析处理室的运行状况。质谱几乎是实时测量的。您可以在您的工艺处理室中追踪很少量的分子。iTrap 是一款适合研究人员或工艺开发工程师使用的强大工具,也可用作由其他工艺工具设备集成和控制的智能传感器。

优点

Edwards iTrap 的优点通过以下方面得到印证: 

  • 速度 | 可进行实时测量,全频谱 < 0.5 秒
  • 灵敏度 | 微量痕迹浓度测量 
  • 紧凑 | 可与工艺处理室集成。标准化软件接口,可用于外部化学品。 
  • 耐腐蚀 | 惰性表面,无检测器。可耐受氘、氯、氟和其他腐蚀性化学品  

 

                                                    

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