我们通过两种主要方式对环境产生积极的影响:第一,让我们的产品在工作中更加高效和有效,第二,我们管控对业务环境的影响。
我们关心可持续发展,我们正在努力确保让我们的工作以及工作方式变得更加可持续。在环境影响因素的推动下,我们在产品设计中做出了几项重大的改变。高效利用资源对于我们的产品设计和开发至关重要,它降低了客户的购置成本,尤其注重降低耗电量和耗水量。
减少半导体行业客户的能源使用流程泵是流程工具中消耗较多能量的设备之一,而流程工具又占工厂能源使用量的三分之一以上(基于 SEMATECH 能源研究)。全球安装的半导体真空泵的能源消耗与英国谢菲尔德市或美国德克萨斯州普莱诺市的能源消耗相当。
我们的产品设计在节约能源和降低公共服务成本的同时,不会影响产品可靠性。借助平台设计流程,我们的每一代主泵消耗的能源都变得更少。例如,新一代干式泵消耗的能源比前代产品少 30% 左右。现在,随着“主动式公共服务控制”(AUC) 的推出,当泵空闲时,该工具将发出信号进一步降低能源和公共服务的消耗。
我们确保我们的泵系列发挥新一代平台技术的优势。在 Edwards 的能效升级计划支持下,我们为运行旧款泵的客户带来这些优势。
我们还就如何尽可能地降低设备能耗为客户出谋划策。
减少全球能源消耗是应对全球变暖的关键所在。除了尽可能地减少我们的生产设施和办公处所消耗的能源之外,我们的新一代涡轮分子泵系列还能让我们的客户实现其节能目标。Edwards 制定了升级计划,旨在使客户顺利改用节能的涡轮分子泵技术。
例如,由油扩散泵改用 STP 涡轮分子泵的优势:
半导体制程使用的气体,如碳氟化合物和六氟化硫,由于其长期留存和较高的全球变暖潜能 (GWP) 而对环境的影响非常之大。这些物质的 GWP 可能是二氧化碳的 1000 倍。例如:如果 CO2 在 100 年内的全球变暖潜能 (GWP) 为 1,则在同期,SF6 的 GWP 为 23,500,NF3 的 GWP 为 16,100,CF4 的 GWP 为 6,630。(来源:IPCC 第五次评估报告,2014 年)。
自上世纪九十年代中期以来,我们一直在利用我们的燃烧减排技术帮助客户高效地销毁并去除这些物质。近来,借助等离子技术,我们的客户能够在整个工厂实现 90% 以上的二氧化碳减排,这符合世界半导体理事会的减排目标。为了生产平板显示器以及太阳能电池板和 LED 照明等新兴的环保设备,我们开发了 Spectra Z 和 Spectra G 减排系统,以应对更高的气流应用。
我们的阿特拉斯减排产品使用的燃料比前代产品系列减少了多达 50%。针对前代减排产品,Edwards 还提供阿特拉斯升级技术。我们还通过组合使用泵和减排系统并应用创新的“空闲模式”技术,来实现节能。