我们是排气管理解决方案的全球佼佼者。我们的目标不仅仅局限于消除影响环境的有毒和全球变暖气体。
我们是了解客户工艺流程的应用专家,致力于开发专注于保持生产率和降低风险的解决方案。我们的产品为流程工具领域的众多杰出 OEM 提供服务,在全球的每一家大型半导体工厂中都能发现它们的身影,这些产品经过专门设计,以满足现有和未来流程的特定要求。 我们的解决方案可改善流程的正常运行时间、产量、加工能力和安全合规性,并努力通过减少环境排放、延长产品寿命和降低持续服务成本,平衡多种相互冲突的需求,实现更低的拥有成本。