我们创新的干式泵系列拥有旨在改善半导体和电子制造环境的尖端技术。
每个系列都经过精心设计,在环境绩效、严苛条件下的可靠性以及轻负荷应用中的敏捷性等方面拥有优势。
通过提升正常运行时间、减少对环境的影响以及良好的成本效益,Edwards iXM 低能耗系列干式泵可为您的关键应用带来真正的制程改进。
iXH 干式泵系列在严苛工艺环境下的工作能力、可靠性和更低的拥有成本方面树立了新标杆。
iXL 系列低能耗紧凑型干式泵适用于轻型应用,例如晶片处理、PVD 和计量等。
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iXL 系列低能耗紧凑型干式泵适用于轻型应用,例如晶片处理、PVD 和计量等。