Vacuum Equipment for Research and Development Applications
残余气体分析仪
高性能和可操作性的出色平衡
RGA 残余气体分析仪
我们的 RGA 有两种型号：二者的操作均简单有效，可确保高性能和高效率
所有 RGA 均配备易于使用的专用软件，让您可通过笔记本电脑对制程进行实时跟踪，并可对多达 16 台不同的设备进行详细分析。
对于那些想快速查看结果的人来说，这些设备均配有特别的板载显示屏，无需通过笔记本电脑连接即可显示主要气体类型以及系统的整体压力。
PRA 一次气体分析仪
提供高性能和可操作性的出色平衡。
- 提供四种型号，以满足您的工艺需求，无论您是只需要基本型号，还是需要灵敏度更高/量程更广的产品。
- PRA 是分析您流程的出色起点。
WRA 宽量程残余气体分析仪
出色产品，技术规格市场领先。
- 可提供 1-200 amu 或 1-300 amu 两种型号，您可以测量制程中的各种气体/副产品。
- 与 PRA 相比，该产品具有更高的灵敏度，可提高测量精度。
