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适用于真空系统的硬件和配件

对性能至关重要

Edwards Engineer

您期待的 EDWARDS 高品质

当您从 EDWARDS 购买真空泵组件时,您将获得只有优秀的国际供应商才能提供的质量和服务。 

我们知道法兰及相关配件对您真空系统的性能至关重要,并且我们只会提供符合规格的高质量产品。

为什么选择 EDWARDS 的真空部件和法兰配件

  • 供应方便:一站式供应商,能够在线或通过当地供应中心提供完整的系统解决方案。
  • 品质上乘,可靠性高:精确的材料控制确保在敏感或有高要求的应用中实现可靠的真空性能。
  • 选择丰富:提供适用于所有常规尺寸的铝制和不锈钢法兰的完整系列。

 

阀门、配件和硬件

真空部件和配件一览

NW 法兰 (ISO-KF) 组件

NW 配件,也称为 ISO-KF,是从低到高真空范围内的许多应用的行业标准。无论应用中的任务是简单还是困难,它们都是取得可靠的成本效益(真空度低至 10-7 mbar)的理想选择。简单的紧固方法意味着系统可以轻松组装,并可快速实现防漏的真空密封。

  • 按照 ISO 2861 和 DIN 28403 标准制造
  • 标称直径 10 至 50 mm
  • 与弹性体或铝型材密封件配合使用
  • 根据应用、使用、便利性和成本选择夹具类型
  • 用于高真空应用:压力 >10-8 mbar 
NW 法兰 (ISO-KF)
ISO 法兰(ISO-K 和 ISO-F)

ISO 法兰组件

ISO 配件在半导体加工中提供很高的耐腐蚀性,在低至高真空应用范围内提供出色的可重复性。法兰使用夹爪或螺栓与氟橡胶或丁腈定心环和 O 型圈连接。

  • 按照 ISO 1609 和 DIN 28404 标准制造
  • 标称直径 40-630 mm
  • ISO-F 法兰具有固定孔型
  • ISO-K 法兰通常用夹爪连接,可使用可旋转的套环或半爪转换成/连接到 ISO-F
  • 用于高真空应用:压力 >10-8 mbar

双爪夹具卡入法兰周围的圆形槽中并固定,以提供简单但安全的法兰连接。更传统的方法是使用一系列螺栓孔和带可旋转或固定式套环法兰的螺母/螺栓。

UHV ConFlat® 法兰组件

CF 配件有一个出色的密封系统来实现密封连接。铜封在两个 CF 法兰之间受到轴向和径向挤压,刀刃迫使铜发生冷流变形。冷流受到垂直法兰壁的严重限制,法兰壁会产生高压并填补表面缺陷,从而形成非常紧密的金属间密封。

  • 按照 ISO 3669 标准制造
  • 标称直径 16-350 mm
  • 几乎只用于铜环金属密封件
  • 烘烤温度高达 450 ºC
  • 通常用于 UHV 系统:压力 < 10-8 mbar

公制法兰,常用于欧洲和亚洲,在适合公制管道的法兰中使用公制螺纹孔和钻孔。英制法兰,常用于美国,使用与英制管道兼容的 UNF 法兰螺纹和钻孔。这两种我们都提供。

CF 配件

根据您的应用和释气、工作温度和密封要求,选择正确的材料非常重要。

 

共密封件使托架远离真空,从而具有消除缝隙和截留体积的额外优势,避免不稳定性和气体爆炸。

定心环仅用于真空应用。在可能出现正压的地方(如排气管),应使用共密封件和截留 O 型圈。它们有托架来支撑 O 型圈的两侧,使其成为真空和正压应用的理想选择。

夹具和夹紧环

  • 不锈钢夹紧环 

  • 聚合物夹 

  • 铝夹 

  • 隔板夹 

  • "C" 型夹 

  • 夹爪和螺栓 

密封件

  • 共密封件 - 铝 

  • 共密封件 - 高科技聚合物 

  • 带 O 型圈的定心环 - 铝 

  • 带 O 型圈的定心环 - 高科技聚合物 

  • 截留 O 型圈 

  • 金属密封件 

管件

  • 铝部件 

  • 不锈钢部件 

波纹管和柔性管道

  • 波纹管 

  • 柔性管道和编织柔性管道 

 

我们的部件和法兰配件设计用于在真空应用范围内防漏,而不是用于提供完整的结构支撑。

在设计任何真空系统时,必须考虑施加在每个连接上的静态和动态负载。如有必要,应在设计中提供和内置额外的机械支撑。

应考虑定期检查(包括泄漏检查)并在适当的情况下定期更换部件,以确保保持系统的效率和安全性。

有关真空泵和设备安全安装的更多信息,请联系我们。

EDWARDS 的员工站在走廊里微笑着
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