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Atlas

出众的减排性能

ATLAS 提供出众的减排性能

Atlas 减排技术:一系列燃烧气体减排解决方案 - 选择适合您特定加工过程的解决方案:

  • Atlas TCS,适用于常见的 CVD 气体 (NF3/F2)
  • Atlas TPU,适用于 CVD 制程中的 PFC 气体(ClF3、C2F6、C3F8)
  • Atlas Kronis,适用于新一代制程中的低 k CVD 气体
  • Atlas Etch,适用于半导体蚀刻和平板显示器制程(CF4、SF6 和高流量 PFC)
  • Atlas Helios,适用于外延和 MOCVD 中氢制程的安全处理

与上一代气体减排装置相比,Atlas ™ 系统的燃料消耗更低。我们使用久经考验的 Alzeta™ 内燃式燃烧器技术,可显著降低拥有成本。Atlas 系统可配备一到六个进气口以及包括温度管理系统 (TMS) 在内的多种选件,可处理高达 1,200 slm 的流量。系统经过专门设计,易于使用,维护效率更高。

Edwards' inward-fired combustion technology

自 1994 年以来,内燃式燃烧器被大多数大型半导体制造商所采用,现已成为气体减排行业的标准应用。

我们独特的燃烧技术以均匀的燃烧温度运行。这可确保极低的背景排放,并且气体的向内流动可防止工艺材料与腔室壁接触,从而更大程度地减少固体堵塞。燃烧室材料的独特成分可确保优异的耐腐蚀性,并有助于为 Atlas 提供出众的可靠性和安全性。

在我们先进的环境创新中心,我们可提供按照过程精调过的解决方案,以实现久经现场验证和第三方确认的卓越性能。减排 DRE 措施通常超越国际以及地方法规的要求:

    低于 TLV 的 SiH4 和其他卤化物

    NF3:>99% /

    F2:>99% /

    CF4:>90%

    其他 PFC:>99%

凭借庞大的装机数量、卓越的全球应用团队和服务支持,我们可以提供专为您的过程需求而设计的优质解决方案。请与我们的团队联系,我们一起找到最终的解决方案。

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