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Edwards MaxCool 2500 L 低温深冷机

MaxCool 2500 L 低温深冷机

快速实现较低的真空度

抽送水蒸汽

水蒸汽通常是存在的高活性污染物。借助 MaxCool 低温深冷机,您可以将现有系统的产品处理能力提高 20% 以上,并提高沉积质量。

 

MaxCool 的优势

  • 高真空抽空时间缩减达 75%
  • 水蒸气的高速抽取:工作区域内 10,000 至 140000 l/s
  • 产品处理能力提高 20% 以上
  • 加工过程中水蒸汽分压越低,薄膜质量越高,附着力越好,沉积的重现性越好
  • 在性价比方面优于采用液态氮冷却的 Meissner
  • 通过电源管理降低使用成本
  • 适用于多种流程的高容量冷却和加热

在将 MaxCool 低温深冷机添加到您的真空系统中后,它可显著减少抽空时间并提高产品处理能力。MaxCool 会在“启动”后的几分钟内抽出水蒸汽,并能够在四分钟内除霜,从而实现真正的快速循环能力。它还有一个选项被称为快速冷却转为冷却,可消除除霜后的等待时间。对于您的系统而言,这意味着可以拥有更多的生产周期。

MaxCool 采用 Polycold 混合制冷剂,并按照 Meissner 冷阱原理工作。水蒸汽在被称为 Meissner 盘管的低温冷却表面上通过冷凝被捕获。Meissner(低温盘管)直接安装在真空腔中,因此导热性不受端口、歧管、阀门和挡板的限制。低温盘管易于安装,并且可以调整以适配任何系统

它不需要配备高真空阀。

MaxCool 低温深冷机是很具成本效益的升级产品,您可以将其添加至任何使用扩散泵、涡轮泵或氦低温泵进行抽空的系统。

MaxCool 低温深冷机符合欧洲应用制冷剂 (EC 1005/2009)、《蒙特利尔协议》和美国 EPA SNAP 标准的规定。

 

优点

  • -120 至 -145°C(153 至 128K)
  • 除热功率达 2500 瓦
  • 低温冷凝真空系统中的水蒸汽,速度达 140,000 l/s,真空水平达 8 x 10-10 torr (1 x 10-9mbar)
  • 理论抽速上限为 208,600 l/s
  • 通过“快速冷却转为冷却”功能提高生产率
  • 具有电源管理选项,可尽量降低拥有成本
  • 温度控制
  • 充注绿色制冷剂:符合全球标准,无毒且不易燃
  • 基于 Polycold 成熟的、可靠的创新型混合气体制冷技术
  • 符合欧盟 PED 和 MD 标准
  • 通过 TUV Rheinland 认证,符合 NRTL/加拿大安全标准
  • 通过 ISO 9001:2008 认证的制造商

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