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超高真空系统

Gamma Vacuum pumps: ultra-high vacuum technologies

先进真空技术

Edwards 通过 Gamma Vacuum 独家提供各种离子泵、钛升华泵、非蒸发型吸气泵和附件。

离子泵

钛离子泵

钛升华泵

钛升华离子泵

非蒸发型吸气 (NEG) 泵

NEG 盒 N200

SPC-NEG

DIGITEL SPC-NEG 控制器

  • 超高真空泵的主要特点是“高”
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超高真空泵的主要特点是“高”
消除了机械振动

捕集泵无活动部件。消除了活动部件产生的振动和电气噪音

耐辐射性高

捕集泵采用超过 108 灰度的耐辐射材料制造。连接器和电缆也采用耐辐射材料制造,可连续运行多年

耐高温

在任何条件下,捕集泵都可被烘烤至 250°C。如果移除磁铁,可以将烘烤温度升至 450°C。长时间的热烘烤对每一个 UHV 系统都至关重要

无需定期维护

捕获泵几乎无需维护,并因其与大气隔绝而避免了昂贵的真空事故,可节省时间、金钱和资源

初始运行成本低

初始成本通常低于同类规格的其他类型真空泵。它们只使用很少的电量或不用电,可实现多年的低成本运行

消除了机械振动

捕集泵无活动部件。消除了活动部件产生的振动和电气噪音

耐辐射性高

捕集泵采用超过 108 灰度的耐辐射材料制造。连接器和电缆也采用耐辐射材料制造,可连续运行多年

耐高温

在任何条件下,捕集泵都可被烘烤至 250°C。如果移除磁铁,可以将烘烤温度升至 450°C。长时间的热烘烤对每一个 UHV 系统都至关重要

无需定期维护

捕获泵几乎无需维护,并因其与大气隔绝而避免了昂贵的真空事故,可节省时间、金钱和资源

初始运行成本低

初始成本通常低于同类规格的其他类型真空泵。它们只使用很少的电量或不用电,可实现多年的低成本运行