超高真空泵

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我们通过 Gamma Vacuum 提供一系列离子泵、NEG-离子组合泵、钛升华泵、非蒸发型吸气泵和各类附件。

捕集泵技术可为从便携式质谱分析仪到大型粒子加速器的多种应用创造高真空 (HV) 和超高真空 (UHV) 环境。该技术能够以经济的成本创造尽可能低的真空。

HyTan NEG-离子泵

NEG 泵可以对 H₂ 以及 N₂、O₂ 和 CO 等化学活性气体高速抽吸，离子泵可以高效地抽吸所有气体组分，包括惰性气体和甲烷。HyTan NEG-离子泵将这两种技术组合到一款紧凑型 UHV 泵中。

借助可更换模块，NEG 泵提供 100 – 500 l/s 的氢气抽速范围，而离子泵模块采用卓越的传统二极管元件，这种创新技术适用于多种 UHV 应用。

HyTan NEG-离子泵尺寸紧凑，并且可以将泵组装到腔室中，因此非常适合空间受限的 UHV 环境。

HyTan NEG-离子泵

离子泵

钛离子泵

也称为溅射离子泵或离子吸气泵。

这是使用阳极/阴极阵列来电离气体的捕集泵。

离子溅射反应性阴极材料，产生化学反应将电离气体转化为固体化合物。这些化合物不再对真空系统的压力产生影响，并被捕获在离子泵内。

离子泵可以在 10^-5至 10^-12mbar 的范围内运行，氮气抽取速度为 0.2 至 1200 l/s。

钛升华泵

其工作原理是加热钛丝并将钛分子升华（从固相转变为气相）到表面。

然后，升华的钛分子可与氧气和氮气等反应气体发生化学反应，并使氢气分离和扩散出来。

TSP 可在 10^-5 至 10^-12mbar 的范围内运行，氢气抽取速度超过 10000 l/s。

钛升华离子泵

非蒸发型吸气 (NEG) 泵

NEG 泵芯 N200

这些活性金属被压在固体基材上或烧结成圆盘。

实际发现锆、钒和铁的特定组合在 HV 和 UHV 环境中应用效果非常出色。材料的使用量控制着 NEG 泵的抽速和容量，其抽速通常为 55 至 412 l/s，容量通常为 630 至 3600 Torr l/s。

当 NEG 泵吸收气体至饱和状态时，它们可以在不向大气排放的情况下被重新活化。

DIGITEL 离子泵控制器

我们已开发了一系列离子泵、NEG 泵、TSP 泵和 NEG 控制器，用于调节、驱动和管理您的真空应用。

无论您使用的是单泵还是多泵，我们精心设计的系列控制器都可确保它保持稳定的电压和电流水平，并具有一系列集成协议和安全功能以及易于使用的导航界面。

高级 SPCe、QPC、MPCq 和 TSP 控制器将帮助您发挥真空系统的出色性能。

DIGITEL SPCe 小型泵控制器用于管理抽速高达 75 l/s 的单离子泵
DIGITEL QPC 四泵控制器用于管理抽速高达 100 I/s、数量多达 4 个的离子泵
DIGITEL MPCq 多泵控制器可通过高电流控制多达 4 个大型离子泵
TSP 控制器可管理多达 2 个 TSP 泵（= 6 个 TSP 热丝）

DIGITEL SPCe 小型泵控制器

DIGITEL QPC 四泵控制器

DIGITEL MPCq 多泵控制器

UHV（超高真空）附件

TSP 电缆

分路器箱

高压电缆

TPS 隔罩

设计用于与 Gamma Vacuum 产品组合出色配合。

此系列附件用于进一步支持您的真空系统的性能、可靠性和效率。

高压电缆 – 我们的内部高压电缆系列专为满足不同应用和电源要求而定制。
TSP 电缆 – 耐用、坚固且可靠的电缆，适用于钛升华泵。
配电盒 - 将电源分配给离子泵或 NEG 泵，以便进行并联操作。
TSP 隔罩 – 隔罩覆有升华钛涂层，从而形成一个大的活性表面，以提供出色的氢气抽速。