Edwards 通过 Gamma Vacuum 独家提供各种离子泵、钛升华泵、非蒸发型吸气泵和附件。
捕集泵技术可为从便携式质谱分析仪到大型粒子加速器的各种应用创造高真空 (HV) 和超高真空 (UHV) 环境。该技术能够以经济的成本创造尽可能低的真空。
离子泵
也称为溅射离子泵或离子吸气泵,是使用阳极/阴极阵列来电离气体的捕集泵。离子溅射反应性阴极材料,产生化学反应,将电离气体转化为固体化合物。这些化合物不再对真空系统的压力产生影响,并被永久地封存在离子泵内。离子泵可以在 10-5 至 10-12 mbar 的范围内运行,氮气抽取速度范围为 0.2 至 1200 l/s。
钛升华泵
TSP 通过加热钛丝并将钛分子升华(从固相转变为气相)到表面来运作。然后,升华的钛分子可与氧气和氮气等反应气体发生化学反应,并分解和扩散氢气。TSP 可在 10-5 至 10-12 mbar 的范围内运行,氢气抽取速度超过 10000 l/s。
非蒸发型吸气 (NEG) 泵
它们是活性金属,已被压在固体基材上或烧结成圆盘。已发现锆、钒和铁的特定组合在 HV 和 UHV 环境中应用效果十分出色。材料的使用量控制着 NEG 泵的速度和容量,而其速度通常为 55 至 412 l/s,容量通常为 630 至 3600 Torr l/s。由于 NEG 吸收气体至饱和,它们可以在不向大气排放的情况下被重新激活。
SPC-NEG
采用紧凑设计的现代 NEG 控制器,性能和成本均经过优化,具有增强的功能,有助于更方便地为您的应用实现超高真空。
DIGITEL SPC-NEG 控制器可运行 NEG 泵,具有较高的氢气抽取速度,这是超高真空中非常相关的气体类型。与标准电源不同,SPC-NEG 不仅可以将电流注入 NEG 的加热器,还可以使用预定义的例程,包含某些参数,如电流值或加热时长。这些值均由 SPC-NEG 根据连接的 NEG 泵进行选择。这些例程均可自定义,以允许使用不同参数进行实验。通过开环检测和过载保护实现可靠的运行。
大尺寸触摸屏可实现高易用性。此外,以太网接口允许远程控制。