适用于真空系统的直列式阀
进口和出口对齐
为什么选择直列式阀?
直列式阀的进口和出口沿同一个轴对齐,这意味着当阀门处于打开位置时,流路保持笔直。
直列式阀有多种尺寸和设计供选择,包括手动阀、电磁阀和气动阀,具体取决于您的系统设计以及机器可用的设施。
角阀和直列式阀的选择取决于真空系统的特定要求和可用安装空间。
IBV ISO-KF 球阀
球阀在需要快速作用和全孔抽气的应用中备受欢迎。我们的 IBV 系列阀将这些实用的日常功能与易用性和经济性结合在一个高规格设计中。它们采用 316L 不锈钢制造,带有 PTFE 阀座,可在众多真空任务中提供可靠的性能。
- 低资本成本
- 方便的 NW16、NW25、NW40、NW50 尺寸
- 可选 BSP 螺纹版本
- 易于使用的手动操作
- 高流导全孔抽气
Speedivalve
SP Speedivalve 是膜片密封的直列式隔离阀。其结构主要由柔性弹性膜片组成,该膜片通过螺纹机构密封在轻度抛光的阀座上。该机构通过膜片与系统隔离,使该阀门非常坚固并可耐受“脏污的”系统。
该阀在 NW 法兰中端接,可通过管道支撑或采用面板安装方式。
(SP40K 只能由管道支撑)
- 易于操作,提供阀门打开视觉标示(SP10K 至 SP25K)
- 防漏至 10‑6 mbar ls‑1 / 8 x 10‑7 Torr ls‑1 以上
- 膜片将机械装置与真空系统隔离
- 非常坚固并可耐受“脏污的”系统
- 可耐受 9 bar 过压(SP10K 至 SP40K,带共密封件)
IPVMK 手动直列式隔离阀
IPVMK 是一种快速作用的波纹管密封型直角杆式驱动阀,提供铝或不锈钢阀体。杆连接到自润滑塑料凸轮活塞,通过 PTFE 轴承驱动阀杆和阀板。阀板 O 型圈槽可排气,以防止气体爆炸。这些阀门的设计工作压力下限为 10‑9 mbar/ 8 x 10‑10 Torr,上限为 2100 mbar/1575 Torr (30 psi)。
- 易于使用
- 波纹管密封机构
- 高流导
IPVPL 气动直列式隔离阀
IPVPK 系列直列式单作用气缸弹簧复位管道阀设计用于标准气动管路的高速驱动,提供 NW16、25、40 和 50 尺寸。它们具有铝或不锈钢阀体,带有 O 型圈(仅限铝制轴封)或波纹管密封件。
该阀设计用于长期工作,波纹管和 O 型圈密封型的 MTTF 均达到 5000000 次循环,保养间隔也非常长。
- 提供阀门状态的电气和可视指示
- 快速作用 – 20 ms 关闭 (PV16)
- 有铝和不锈钢材质供选择
- 可选择带铝阀体的波纹管或 O 型圈轴封
IPVEK 电磁驱动直列式隔离阀
IPVEK 系列阀门是紧凑、轻便的电磁真空阀,适用于低至 1 x 10‑9 mbar 的真空管道系统。双绕组线圈与电子开关电路相结合,确保低能耗、低工作温度和更长的工作寿命。
波纹管密封型 IPVEK 电磁驱动直列式阀提供铝 (A) 或不锈钢 (S) 阀体,MTTF 总计达 500000 次循环。
- 用于打开的瞬态高功率 - 电子开关式
- 处于“保持打开”位置时消耗的能量很少
- 外壳防护等级达到 IP55
- 无需润滑的真空
- MTTF 高达 500000 次循环
SIPVP 软启动隔离阀
软启动气动直列式阀,带可互换孔口,用于在湍流会导致颗粒污染问题的工艺中控制抽气。从阀和主阀的组合允许缓慢地进行初始抽气,从而尽可能地减少干扰。从阀和主阀都需要单独的气动连接。
- MTTF 达到 5000000 次循环
- 根据工艺控制抽气
- 铝阀体
- 断电时该阀可快速作用
- 随附 5 mm、6 mm 和 7 mm 的可互换孔口
SIPVP 软启动隔离阀如何工作?
当从阀打开时,气体以较低速率通过可互换孔口流过阀的两侧之间,从而实现缓慢的抽气。在达到用户指定的预定压力水平后,主阀按照用户提供的信号打开,进行全孔抽气。
波纹管密封阀为单作用阀,带有气动打开和弹簧闭合功能。该阀配有三个可互换的孔口,可使抽气性能与您的工艺相匹配。微型开关作为标准配置提供,用于指示阀门的状态。
阀门和微动开关的烘烤温度可达 100˚C,以加快排气速度,并防止工艺气体在阀内凝结。
SIVP 阀的合适应用
虽然该阀主要设计用于半导体行业,但也可用于其他需要控制抽气的应用。
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