Vacuum Isolation Valves (VIV) - Brochure
适用于真空系统的专用阀
为专业应用专门设计
为什么选择专用阀？
专用阀不是一种阀门类型，而是一个广义术语，它是指专为真空系统中的特定和专业应用而设计的阀门类别。
这些阀门有多种尺寸和设计供选择，包括手动阀和气动阀，通常采用高级功能来应对其预期应用中的特定挑战。
带联结器的 AV5A 进气阀
AV5A 采用铝合金制造。它有一个连接到螺旋驱动柱塞的控制旋钮：顺时针转动控制旋钮可关闭阀门。丁腈 O 型圈将柱塞密封到阀体上。
该阀可以直接连接，由管道支撑或采用面板安装方式，并通过 EDWARDS SC5 联结器（随附）连接到真空系统。
- 简单的手动进气阀
- 直接连接，由管道支撑或采用面板安装方式
- 通过 SC5 联结器（随附）连接
AV10K 进气阀
AV10K 的制造和工作方式与 AV5A 相同，但连接方式不同。
该阀只能由管道支撑，并通过 NW10 配件连接到真空系统。
- 简单的手动进气阀
- 只能由管道支撑
- 通过 NW10 配件连接
BRV 前级/粗真空阀
带有 ISO NW 粗真空和前级泵端接口的 BRV 前级/粗真空阀提供手动或气动型。它们将单独的前级/粗真空阀的功能组合在一个一体式 3 端口装置中。
随附柔性氯丁橡胶连接器进行前级连接。粗真空和前级泵在适当的 NW 端接口中端接。
- 易于操作 - 两个端口均处于关闭位置
- 使用寿命长 - 可进行 100000 次及以上的操作
- 气动阀上有位置指示器
- 防漏至 10‑9mbar ls‑1/8 x 10‑10 Torr ls‑1 以上
IPV10EK 进气阀 NW10
IPVA10EK 是一个电磁驱动阀，设计用于将空气或排气自动引入真空系统。
该阀有两个带 NW 法兰的端口。其中一个阀端口连接到真空系统，另一个阀端口与大气相通或与排气源相连。
通过阀柱塞底座上的氟橡胶垫（密封在阀体上）将真空系统与大气（或排气源）隔离。
- 常开或常闭选项
- 小封装
- IP65 防护等级
- MTTF 达到 500000 次循环
QSB 四分之一回转蝶形阀
QSB 四分之一回转阀是快速作用的紧凑型高流导隔离阀。QSB 阀具有抛光不锈钢 ISO 法兰阀体，带有氟橡胶 O 型圈密封阀板和轴。阀板 O 型圈槽可排气，有助于保持稳定的高真空度。阀轴 O 型圈和轴承用 Fomblin® 润滑脂润滑，以防止从轴封后面发生气体爆炸。
该阀配有一个共密封件。
- 手动式
- 高流导
- 在任何方向都能抵抗大气
- 紧凑、快速作用
- 耐腐蚀结构
VIV 真空隔离阀
VIV 真空隔离阀是一种快速作用的高流导高真空隔离阀，设计用于防止蒸气或颗粒从前级泵移动到处理室。
当 VIV 关闭时，前级泵将安全排气。当泵停止或被停止时，VIV 可防止处理室排气。当前级泵重新启动时，阀会在 VIV 内的压力下降后缓慢打开，从而尽可能降低任何压力脉冲的影响。
VIV 真空隔离阀适用于 EDWARDS 小型干式主泵系列 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi。
- 高流导
- 快速关闭操作
- 断电保护
- 灵活的安装选项
- 不会限制主泵的性能
- 防止蒸气或颗粒从前级泵移动到处理室
- 断电时防止处理室排气
对于配有 M8 阀连接器或 15 路 D 型逻辑接口连接器的 EDWARDS 前级泵，我们建议使用 24V 直流阀和可选附件电缆或 VIV Link，因为这可提供更高级别的保护。
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