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高性能和可操作性的出色平衡
我们的新型 RGA 有两种型号:PRA 和 WRA,二者的操作均简单有效,可确保高性能和高效率
所有 RGA 均配备易于使用的专用软件,让您可通过笔记本电脑对制程进行实时跟踪,并可对多达 16 台不同的设备进行详细分析。
对于那些想快速查看结果的人来说,这些设备均配有特别的板载显示屏,无需通过笔记本电脑连接即可显示主要气体类型以及系统的整体压力。
Edwards PRA RGA 实现了高性能和可操作性的出色平衡。
提供四种型号以满足您的制程需求,无论您是只需要基本型号还是需要具有更高灵敏度/量程的产品,PRA 都是分析您的制程的理想起点。
Edwards WRA RGA 是我们的出色产品,技术规格市场领先。
可提供 1-200 amu 或 1-300 amu 两种型号,您可以测量制程中的各种气体/副产品。
与 PRA 相比,该产品具有更高的灵敏度,可提高测量精度。
实现完整的制程控制
实现高可靠性和长运行时间
用于在不使用 PC 的情况下进行基本测量