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多孔头
提高生产效率,同时降低成本和减少环境影响

作为持续改进流程的一部分,我们设计了一系列升级,以帮助客户提高机器性能、降低拥有成本并实现可持续发展目标。 

保护设备性能

旨在提高机器性能和提高运营效率的升级

磁悬浮涡轮泵的工具上颗粒减少技术升级

我们致力帮助客户提高生产效率和产量,因此设计了一系列解决方案,让客户可以使用三种工具上技术(即我们的防反冲技术、转子杯盖和高温泵)来减少半导体应用中的晶片上颗粒污染问题。  

防反冲技术 
在生产过程中,颗粒可能会从涡轮泵反向进入反应室,从而污染晶片并降低生产效率。我们的防反冲技术使颗粒能够轻松通过涡轮泵进入排气系统,从而显著减少颗粒污染。 

转子杯盖  
为了防止腐蚀和颗粒在(涡轮泵进口处的)转子杯上积聚,我们开发了一个防腐蚀转子杯盖,可有效抑制颗粒沉积以及对不锈钢组件的腐蚀。

高温泵 
另一个颗粒污染来源是涡轮泵内的沉积物,这也会使颗粒通过涡轮泵返回到反应室中。通过使用高温泵,气体路径被加热至非常高的温度,从而抑制沉积。这些泵的转子和定子等关键真空组件上有特殊的高温辐射涂层,可以持续优化泵的温度曲线,从而取得出色的效果。

所有三种颗粒减少技术都可以在我们的服务技术中心于定期泵保养期间安装,以确保客户能够优化新设备及现有设备的生产效率。

专为恶劣的制造环境而设计的 XCEDE 干式泵保护

XCEDE 干式泵保护技术可防止关键的泵组件发生腐蚀,并有效延长保养周期,从而帮助客户尽可能地增加设备的正常运行时间。该技术将表面处理与精密工程巧妙地结合起来,以有效减少 Edwards iH、iXH 和 iXM 泵系列中泵机构内部的化学磨损及机械磨损,从而达到比其他同类产品更好的效果。

尽可能地降低总拥有成本

这些升级旨在延长保养周期,提高设备队伍的效率,从而降低总拥有成本。

减排多孔头

Edwards 开发了多孔头,这是一种采用烧结多孔金属块的现场服务升级,它可以均匀地将空气吹扫到整个表面,降低粉末积聚的风险。它取代了传统的陶瓷绝缘头。

在减排过程中,固体(通常是粉末)可能会积聚在系统的某些区域并造成有害影响,例如入口头的下侧。粉末积聚会导致堵塞,阻止工艺气体流动,从而导致频繁的计划内保养作业。在条件恶劣的环境中,一年积聚下来的粉尘可能会造成九次以上的服务中断,这意味着需要投入更多的人力,使用更多的零件进行维护,因而导致拥有成本上升。

通过使用多孔头升级,客户从每年平均 10 次保养减少到 2 次。对于那些没有后备减排系统的客户,此升级可以帮助他们消除每年平均 64 小时的机台停机时间,增加 $150 万的产值。 

对于拥有后备减排系统的客户,此升级也可以通过减少他们对后备系统的依赖,显著节省备件数量、维护工作量和提高能效。

Life Services

使用了五年以上的机器队伍,无论其机械性能如何,都会面临关键电子元件出现意外故障的风险,而有效的维护机制是解决这些问题的重要手段。 

Edwards Life Services 解决方案是翻新机器和延长机器队伍使用寿命的理想选择。Life Services 的服务范围涵盖所有主要系统的电子部件,并提供延长保修,使您的设备在接下来的数年里保持良好的工作状态。 

Life Services 通过我们的全球服务技术中心网络提供。

环境性能升级

这些升级旨在延长设备队伍的使用寿命,减少其对环境的影响,从而帮助您实现可持续发展目标。

热交换器

在车间中,如果没有严格的维护计划,减排系统就会面临冷却水污染的风险。在许多系统中,热交换器都容易受到酸性工艺化学品的腐蚀并造成损坏,导致酸性工艺化学品泄漏到车间的工艺冷却水中。这种污染可能会损坏使用相同冷却水回路的其他工艺工具,还会对环境构成威胁,因为受污染的冷却水是危险物质。 

热交换器现场服务升级套件是一种有效的解决方案,可以将现有的钎焊热交换器转换为新的板式和垫片式设计,而无需对系统进行重大改造。与原来的热交换器相比,升级后的热交换器具有更高的抗酸性,使用寿命长五到十倍,并降低车间冷却水污染的风险。

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