Liner Pro 可重复使用的燃烧器内衬可减少意外停机时间
从更换到可重复使用：Liner Pro 如何降低半导体制造中的减排停机风险和成本
在快节奏的半导体制造世界中，保持安全、高效和环保的运营至关重要。减排系统对于支持这些目标至关重要。它们使用内燃燃烧室中和 PECVD 和薄膜沉积等工艺过程中产生的有害气体。随着工厂在更严格的预算下努力提高处理量，传统减排组件（尤其是燃烧器内衬）正在成为成本高昂且不可持续的瓶颈。这就是 EDWARDS 开发 Liner Pro 的原因，它在衬套性能方面取得了突破。
为什么减排系统很重要
如果有效减排不足，有毒和对环境有害的废气会对员工安全和环境合规性构成严重风险。然而，这些系统的可靠性和效率在很大程度上取决于其组件，尤其是燃烧器内衬。它们能够承受非常恶劣的条件，内部温度高达 1000℃，外部温度高达 50℃，使用寿命长久。对于恶劣和重载过程，由于它们易碎且因粉末堆积而堵塞，因此需要频繁更换。这导致维护成本增加、运行停机时间增加，以及对浪费和可持续发展的关注日益增加。
燃烧器内衬面临的挑战
对于许多工厂而言，燃烧器内衬是其减排系统中最昂贵的备件之一。它们的高消耗率会显著影响总拥有成本 (TCoO) ，尤其是在每次保养间隔期间更换衬垫时，有时甚至在需要之前更换，以避免意外停机的风险。
这些挑战包括但不限于：
- 不可返工：一旦衬垫使用或磨损，则无法进行翻新。必须将其丢弃并更换。
- 复杂的库存管理：通常以反应性方式处理，导致效率低下和管理成本增加。
- 供应链风险：临时规划可能会导致延误和短缺。
- 环境影响：废弃用过的衬垫会造成材料浪费，与可持续发展目标相冲突。
随着环境法规日益严格，工厂寻求更负责任的做法，对可重复使用、经济高效的解决方案的需求变得越来越迫切。
在正常运行时间、安全性和可持续性至关重要的行业中，升级到 Liner Pro 等创新解决方案不仅仅是一种技术优异，而且是一种战略优势。无论您是想降低总拥有成本、简化燃烧器改造规划，还是确保获得正品备件，Liner Pro 都能为先进的工厂提供可衡量的价值。
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