实现从辅助间到洁净室的 6 项关键绩效指标
真空和减排系统如何影响工厂指标？
真空泵和减排系统是半导体制造工艺的关键部分。无论设备类型或工艺节点如何，辅助间都有数百台甚至数千台真空泵和减排系统。
直至最近，作为工艺和良率变化的一个可能来源，它们在很大程度上仍被忽视了。然而，随着其他更重大、更直接的工厂不利因素被消除或控制，人们开始寻找“隐藏的变量”。辅助间设备是提高绩效和推动竞争优势的优选因素。
半导体制造业已经是一个高度数字化和自动化的环境，智能制造工具和工业 4.0 原则正在发挥作用。制造流程的复杂性、日常运营的动态性以及不断进步和改进的需求，都凸显了采用数据驱动方法的必要性。
半导体工厂采用的常见指标是什么？
安全、质量、交付、成本、人员和环境 (SQDCPE) 是广泛用于衡量和跟踪绩效的指标。
安全
真空和减排系统将半导体加工流程中使用的所有有害物质进行过滤，使其得以无害化处理。许多气体和副产物具有毒性、易燃性、自燃性或对环境有害，如果处理不当，会对工厂人员和周围社区的健康和安全造成严重威胁。审核安全关键绩效指标 (KPI) 及其对工厂和辅助间的影响非常重要。常见的安全指标包括因工伤而损失的时间（“损失工作日案例率”或 LWCR）和“可记录的安全事故总数”（可记录案例率总计或 TRCR）。
质量
随着前沿工艺所需的加工步骤越来越多，真空和减排对生产线甚至芯片良品率的影响也越来越大。在每个加工步骤中，设备的选择和维护决策都至关重要。被动性选择可能会导致效率低下、加工机台停机和严重的安全隐患。看似微小的良品率改进可能会对关键绩效指标产生巨大影响。
交货
每年仍会因计划外维护而损失数千小时的机台加工时间。如果辅助间中的意外事故导致机台或腔室停机，在等待机台时可能会造成晶圆毁坏或操作延误，这些晶圆的周期时间也会增加。
成本
对晶圆成本的影响可能是直接的，也可能是间接的。间接成本（包括机台生产损失的机会成本）远远超过直接成本，尤其是当停机的机台成为瓶颈因素的情况下。
人员
生产集成电路需要大量具备广泛技能以及理论和实践知识的人才。这些技能横跨物理和化学、材料科学、电气工程和电子学、机械工程、控制系统等多个领域。
环境
要实现可持续发展目标，需要采取许多措施 – 能效计划、战略性可再生能源倡议、减少温室气体排放和既定的气候变化对策。
