半导体工厂节省的加工机台时间达 1400 小时以上
单个尖端半导体晶圆的估值为 $17000*。单是一个加工机台的停机就会中断生产，并迅速导致晶圆产量、良率和周期时间出现倒退。尽量延长加工机台正常运行时间对盈利能力至关重要。
由于对真空和减排系统的性能了解有限，而且对加工机台可用性受到的影响也知之甚少，该工厂不得不采用基于时间的维护方法。
由于只能根据辅助间设备的使用年限和运行时间确定基于时间的维护，因此无法消除停机事件的风险。大量备件库存必须随时可用，这给供应链带来了额外压力。此外，还需要维护团队提供额外的服务支持，这也是意料之外的需求。
纠正性维护需要耗费更多时间
如果真空和减排系统意外关闭，就要对加工机台进行清洁、恢复和重新鉴定，据估计，这些操作需要工具运行的时间每年至少为 500 小时。该数字是根据 75 个加工机台计算得出的；每个加工机台每次意外停机需要 6-7 个小时的额外维护时间。
管理停机风险
如果工厂希望实现业务增长和绩效目标，仅靠基于时间的维护是不够的。需要不惜一切代价避免意外停机，但由于缺乏足够的洞察力，无法快速找出系统问题的根本原因，增加常规维护是必然的选择。
工厂面临的挑战是如何在辅助间部署合适的专业技术人员，否则洁净室和辅助间团队之间的失望情绪会不断增加，导致沟通不一致和缺乏数据共享。
每次停机事件需要 6-7 小时的额外维护时间：纠正性维护长达 18 小时，计划性维护仅需 11.5 小时
为了寻求一种更有效和更准确的方法来消除停机事件的风险，该工厂向我们寻求帮助。
*资料来源：《安全与技术中心 (CSET) 2020 年报告》
下载此成功案例，了解工厂如何通过改善辅助间中的运营来提高加工机台的效率。
下载交互式电子书或 PDF 格式的完整用例
