辅助间中的高能材料与安全 SEMI S30 准则
辅助间环境是容纳各种设备以保持晶圆厂洁净室正常运行的多功能机房，它可能是一个危险的环境。高能材料是危险之一，它是某些半导体工艺的副产物。
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半导体生产流程中的高能材料是什么？
高能材料是指具有危险放热性、自燃性或与水反应性的化学物质。换句话说，所有这些物质都储存着高能量，在热作用、机械作用或冲击波的作用下，这些能量可以不受控制地快速释放出来。
降低高能材料风险：SEMI S30 准则
SEMI S30 准则是一套关于在半导体研发和制造过程中采购、储存、处理和使用高能材料的安全标准。该准则是一套最低限度的安全措施，适用于从化学品供应到减排的每一个工艺阶段。
EDWARDS 高级应用经理 Steve Cottle 介绍了 SEMI S30 安全准则，并解释了该准则在半导体行业至关重要的原因。
为什么 SEMI S30 准则在辅助间中很重要？
许多半导体制造工艺都运用反应化学。因此，生产过程中使用的化学物质都是高能材料，有时生产过程中产生的副产物也是高能材料。如果处理不当，这些材料始终会有爆炸或起火的危险。因此，SEMI S30 准则有助于确保辅助间设施中工作人员和设备的安全。
半导体制造商如何确保辅助间的安全？
时间教会了我们，辅助间甚至比晶片生产环节的洁净室更容易发生事故。从系统和设备的设计到投入使用，辅助间的安全问题应该从一开始便得到关注。因此，一切都要从正确选择质量过硬和设计精良的真空和排气管理系统着手。
经验表明，在设计真空和减排系统时，专有的真空建模软件和技术测试都是可靠的方法。我们的 EDWARDS 全球应用专家团队拥有设计、测试和完善此类装置的专业知识。
EDWARDS 的真空和排气管理系统已在使用高能材料的各种工艺中证明了其优点，我们也对其性能进行了密切监控。到目前为止，所有这些装置都符合 SEMI S30 准则所有相关部分的要求。
在设计辅助间时，不能抱有任何侥幸心理。以 SEMI S30 准则为基础，运用 EDWARDS 的专业技术设计出理想的装置，我们就能建造出世界上安全无忧的辅助间。
Steve Cottle
高级应用经理
