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EDWARDS XCEDE 升级 – 保持高效生产

生产高级微芯片涉及高度复杂的化学和物理过程、材料和气体。

EDWARDS 的服务产品经理 Louise Hosking 探讨了 EDWARDS XCEDE 防护技术以及它如何尽量降低客户的生产风险并为生产率目标保驾护航。

要继续开展对话并进一步探讨此主题,可在下面下载 Louise Hosking 关于 XCEDE 的交互式文章(支持台式电脑和移动设备下载)。

视频和脚本

生产高级微芯片涉及高度复杂的化学和物理过程和材料以及气体,因此危险副产物的管理非常重要。技术越高级,行业挑战就越严大,因此,客户的停产每时每刻都会影响他们在市场上的表现,而他们需要比竞争对手更有竞争力和效率。

EDWARDS 在创新方面的声誉和历史

我们所服务的许多市场和应用领域充满活力,它们对 EDWARDS 产品的要求在不断变化,并具有挑战性。创新是经济持续增长和繁荣的基石。它是指利用新的想法创造新的产品或服务,甚至是新的流程。

对 EDWARDS 而言,拥有开发创新型解决方案的雄心和愿望是真正的关键推动因素。但是,对于我们的客户来说,创新意味着走在时代的前列,生产出前所未有的产品。

XCEDE 防护技术只是 EDWARDS 致力于不断改进产品和服务以及在所有新的真空关键应用(如蚀刻)中保持优势的一个缩影。EDWARDS 已经开发出一系列创新成果、新产品和新技术,事实上,如今我们已经发现 20 多种制造真空和减排气体的不同原理,拥有 2300 项已获授权和申请中的专利发明。

腔室挑战

在蚀刻等严苛应用中,我们经常会看到可凝结气体和腐蚀性气体同时出现在腔室中,因此,为了保持腔室中的真空度并达到预期的生产率,有必要对可能会妨碍晶圆处理能力的可凝结副产物进行管理。

XCEDE 的两大优点

此处真正的创新挑战是提高晶圆处理能力或生产率,同时降低客户的拥有成本。

这是通过开发出色的泵防护技术实现的。然后,利用 EDWARDS 的全球业务,将这款新颖的产品纳入到正常的升级和服务中。

事实上,客户通过升级其泵组可立即从中受益,因为 XCEDE 拥有以下优势:

  • 更长久、更可预测的泵使用寿命
  • 更低的总拥有成本

无需重新鉴定

除 XCEDE 技术外,升级后的泵将以相同的状态返还给客户,这意味着我们不会改变产品的性能,因此在外形、装配和功能上都与原泵如出一辙,无需对泵进行重新鉴定。通过采用 XCEDE,我们的客户可以从其现有产品中获得更多价值,在正常的服务交付周期内,他们可以保持对其资产的控制并将升级服务纳入其计划中。

客户将看到:

  • 泵可靠性和晶圆处理能力得到改善,并缩短了平均服务间隔时间
  • 更长久、更可预测的泵使用寿命
  • 在正常的服务交付周期内即可完成升级
  • 降低总拥有成本

无与伦比的全球服务

EDWARDS 拥有强大的全球覆盖能力,这意味着我们能够在正常的服务交付周期内升级您的泵,并让应用和现场服务团队随时准备在所有地区提供帮助。XCEDE 升级服务不仅让我们的客户可以缩短平均服务间隔时间,而且他们可以升级旧款泵,无需重新鉴定产品。

持续提供升级

我们与内部研发团队合作开发出这种关键的防护技术。它与我们先进的全自动 XCEDE 生产线相结合,确保为客户提供持续、高质量的升级,实现他们的创新愿景。

Louise Hosking 个人资料图片

Louise Hosking

服务产品经理

关于 EDWARDS XCEDE 干式泵升级对生产和业务的影响的文档封面

要继续开展对话并进一步探讨此主题,可在下面下载 Louise Hosking 关于 XCEDE 的交互式文章(支持台式电脑和移动设备下载)。

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