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XVS 低温泵顶部横幅

低温泵性能水平再上一层楼

Edwards CTI-Cryogenics On-Board® IS 320F XVS 低温泵

On-Board® IS 320F XVS 低温泵具有优异的氢气抽取性能,有助于提高工艺产量和吞吐量,可以充分应对当今的离子注入应用挑战。低温泵内置智能系统控件确保获得更好的工艺质量、一致的真空水平和更长的运行时间,同时提供实时的系统信息以优化阵列温度的控制。通过自动适应不断变化的热力/气体负荷条件,提高了真空质量。

  • 稳定的真空性能
  • 增强的真空性能
  • 系统兼容性
稳定的真空性能

  • 再生过程之间的 H2 抽速波动变小
  • 减少光刻胶污染对 H2 抽速的影响
  • 优化、稳定的阵列温度

增强的真空性能

  • 较高的 H2 抽速 - 15,500 L/S
  • 较高的 H2 容量 – 40 STD-L

系统兼容性

  • On-Board IS 低温泵系统
  • IS-1000、IS-2000V、IS-1800 XVS 压缩机

  • 再生过程之间的 H2 抽速波动变小
  • 减少光刻胶污染对 H2 抽速的影响
  • 优化、稳定的阵列温度

  • 较高的 H2 抽速 - 15,500 L/S
  • 较高的 H2 容量 – 40 STD-L

  • On-Board IS 低温泵系统
  • IS-1000、IS-2000V、IS-1800 XVS 压缩机

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