Edwards CTI-Cryogenics 系列压缩机
Edwards CTI-Cryogenics 提供多种可供选择的压缩机，旨在与 On-Board 低温泵、Cryo-Torr 低温泵和/或 On-Board 水泵结合使用以提供出色性能
低温泵集成的电源变频器可确保所有 Edwards 真空泵在 50 Hz 和 60 Hz 应用中均具有出色的低温抽气性能。
8200 系列压缩机
- 这款压缩机支持较大尺寸为 8 英寸的所有泵产品，旨在与 On-Board 低温泵、On-Board 水泵和 Cryo-Torr 低温泵结合使用以提供出色性能。由于 8200 系列专为灵活使用而设计，因此您可以将压缩机放置在方便系统运行的地方。
- Edwards CTI-Cryogenics 8200 Compressor Data sheet 335.1 kB, PDF
9600 系列压缩机
- 这款压缩机经过专门设计，使用寿命长、可靠性高、易于使用，可与所有 Cryo-Torr 低温泵、On-Board 低温泵、On-Board 水泵和 On-Board TurboPlus 真空泵结合使用以提供出色性能。9600 系列支持单泵和泵组配置，可与世界各地的 CTI-Cryogenics 泵设备兼容。
- Edwards CTI-Cryogenics 9600 Compressor Data sheet 645.2 kB, PDF
9700A 压缩机
- 9700A 压缩机可提高氦气输出量，是运行多个低温泵的理想选择。在众多使用多台低温泵和水泵的应用中，一台 9700A 压缩机即是一套完备的压缩机解决方案。与使用多台压缩机的应用相比，9700A 压缩机可减少能耗、配水和占地面积，与 Cryo-Torr 和 On-Board 低温泵兼容。
- Edwards CTI-Cryogenics 9700a Compressor Data sheet 408.5 kB, PDF
IS 压缩机
- IS-1000 压缩机 - 适用于 On-Board IS 低温泵的智能高效压缩机技术。在与 9600 系列压缩机占地面积相等的情况下，IS-1000 压缩机可支持多达六台 On-Board IS-8F 低温泵。
IS-2000V 压缩机 - 通过将更高的压力、旋转技术和符合 SEMI S-23 目标的可调节氦气输送结合在一起，可在所有运行阶段提供较低能耗。IS-2000V 取代了两台 On-Board IS-1000 压缩机。这款高容量氦气压缩机专为支持 On-Board IS 低温泵应用而设计。低温泵集成的电源变频器可确保低温泵在 50 Hz 和 60 Hz 应用中具有出色的性能。
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