低温泵性能水平再上一层楼
CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F 低温泵秉承 Edwards 的优良传统，打造出市场上可靠性与操作性俱佳的注入式低温泵。
On-Board® IS 320F XVS 低温泵具有优异的氢气抽取性能，有助于提高工艺产量和吞吐量，可以充分应对当今的离子注入应用挑战。低温泵内置智能系统控件确保获得更好的工艺质量、一致的真空水平和更长的运行时间，同时提供实时的系统信息以优化阵列温度的控制。通过自动适应不断变化的热力/气体负荷条件，提高了真空质量。
功能和优势
- 稳定的真空性能
- 增强的真空性能
- 系统兼容性
稳定的真空性能
- 再生过程之间的 H2 抽速波动变小
- 减少光刻胶污染对 H2 抽速的影响
- 优化、稳定的阵列温度
增强的真空性能
- 较高的 H2 抽速 - 15,500 L/S
- 较高的 H2 容量 – 40 STD-L
系统兼容性
- On-Board IS 低温泵系统
- IS-1000、IS-2000V、IS-1800 XVS 压缩机
- 再生过程之间的 H2 抽速波动变小
- 减少光刻胶污染对 H2 抽速的影响
- 优化、稳定的阵列温度
- 较高的 H2 抽速 - 15,500 L/S
- 较高的 H2 容量 – 40 STD-L
- On-Board IS 低温泵系统
- IS-1000、IS-2000V、IS-1800 XVS 压缩机
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